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公开(公告)号：CN115315818A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202080098843.3
申请日：2020-03-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/108
Abstract: 电磁波检测器(100A)具备：半导体基板(1)；第1绝缘膜(2)，配置于半导体基板上，并且以使半导体基板的一部分露出的方式形成；第1电极(3)，配置于第1绝缘膜上；二维材料层(5)，具有在半导体基板的一部分与半导体基板肖特基接合的接合部(12)，从接合部经由第1绝缘膜之上而延伸至第1电极；第2电极(6)，与半导体基板接触；以及控制电极(7)，在俯视时配置于接合部的周围的至少一部分，并且与半导体基板肖特基接合。
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公开(公告)号：CN111919106A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880091036.1
申请日：2018-10-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 小川新平
IPC: G01N21/552 , A61B5/1455 , G01N21/3563
Abstract: 提供能够稳定地且高精度地测定生物物质的量的非侵袭型的生物物质测定装置。生物物质测定装置(80)具备：第一光源(32)，其放射出第一光；ATR棱镜(20)，其具有表面和背面，从一端入射的第一光透过内部并从另一端出射；双曲超材料层(90)，其具有表面和背面，在ATR棱镜(20)的表面上以背面接触的方式配置；和第一光检测器(30)，其检测从ATR棱镜(20)出射的第一光，由检测的第一光来测定生物体中的生物物质的量。
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公开(公告)号：CN115315818B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080098843.3
申请日：2020-03-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H10F30/227 , H10F39/10
Abstract: 电磁波检测器(100A)具备：半导体基板(1)；第1绝缘膜(2)，配置于半导体基板上，并且以使半导体基板的一部分露出的方式形成；第1电极(3)，配置于第1绝缘膜上；二维材料层(5)，具有在半导体基板的一部分与半导体基板肖特基接合的接合部(12)，从接合部经由第1绝缘膜之上而延伸至第1电极；第2电极(6)，与半导体基板接触；以及控制电极(7)，在俯视时配置于接合部的周围的至少一部分，并且与半导体基板肖特基接合。
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公开(公告)号：CN118901146A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202380028949.X
申请日：2023-01-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L27/146
Abstract: 电磁波检测器(100)具备第一铁电体层(5)、二维材料层(1)、第一电极对(2a)以及第二电极对(2b)。第一电极对(2a)包括第一电极(21)和第二电极(22)。第二电极对(2b)包括第三电极(25)和第四电极(26)。第一电极对(2a)及第二电极对(2b)与二维材料层(1)电连接。第三电极(25)与第四电极(26)在与第一铁电体层(5)的自发极化的极化方向垂直的第一方向上彼此相向地配置。第一电极(21)与第二电极(22)在与第一方向不同的第二方向上彼此相向地配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111788700B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201880089720.6
申请日：2018-08-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/112 , G01J1/02
Abstract: 电磁波检测器(1)具备：绝缘膜(22)，具有第1面和与第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层(40)，由于被入射的电磁波而进行光电变换，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层(30)，设置于第1面上，经由绝缘膜(22)被提供电位的变化，产生电量的变化。由此，检测入射的电磁波作为电量的变化，能够提供针对入射的电磁波的响应速度快的高灵敏度的电磁波检测器(1)。
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公开(公告)号：CN117063298A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202180096342.6
申请日：2021-03-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/08
Abstract: 电磁波检测器(100)具备：半导体层(1)；绝缘层(5)，所述绝缘层(5)配置在半导体层上，并形成有开口部(6)；二维材料层(2)，所述二维材料层(2)从开口部上延伸至绝缘层上，并包含与面向开口部的绝缘层的周缘部(5A)相接的连接部，且与半导体层电连接；第一电极部(3)，所述第一电极部(3)配置在绝缘层上，且与二维材料层电连接；第二电极部(4)，所述第二电极部(4)与半导体层电连接；以及单极阻挡层(7)，所述单极阻挡层(7)配置在半导体层与二维材料层的连接部之间，分别与半导体层及二维材料层电连接。
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公开(公告)号：CN115803897A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180038946.5
申请日：2021-03-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/108 , G01J1/02
Abstract: 电磁波检测器(100)具备半导体层(4)、第1绝缘膜(3a)、二维材料层(1)、第1电极(2a)、第2电极(2b)、第2绝缘膜(3b)和控制电极(2c)。第1绝缘膜(3a)配置于半导体层(1)上。在第1绝缘膜(3a)形成有开口部(OP)。二维材料层(1)在开口部(OP)电连接于半导体层(4)。二维材料层(1)从开口部(OP)上延伸直至第1绝缘膜(3a)。第2绝缘膜(3b)与二维材料层(1)相接。控制电极(2c)隔着第2绝缘膜(3b)连接于二维材料层(1)。
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公开(公告)号：CN110392933B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201780085842.3
申请日：2017-10-19
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 电磁波检测器包括并排设置于绝缘层之上的p型以及n型的石墨烯、隔着石墨烯而对置配置的第一电极和第二电极、向p型以及n型的石墨烯施加动作电压的栅极电极以及连接于2个第二电极之间的平衡电路和检测电路，p型的石墨烯具有比动作电压高的狄拉克点电压，n型的石墨烯具有比动作电压低的狄拉克点电压，在电磁波未入射于石墨烯的状态下，平衡电路使第一电极和第二电极具有相同电位，在电磁波入射于p型以及n型的石墨烯的状态下，检测电路检测第二电极间的电信号，输出电磁波入射后的状态的电信号。
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公开(公告)号：CN112272869A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201980018111.6
申请日：2019-01-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L21/336 , H01L27/146 , H01L29/786
Abstract: 具备：形成催化金属(42)的工序；形成催化金属(40)的工序；以使催化金属(42)及催化金属(40)的上表面露出的方式形成保护膜(22)的工序；在露出的催化金属(42)及催化金属(40)之上形成石墨烯层(30)的工序；以覆盖石墨烯层(30)的方式形成绝缘膜(20)的工序；在绝缘膜(20)上形成基板(10)的工序；以及去除催化金属(42)的工序，能够减少向石墨烯层的工艺损伤，能够提高性能。
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