公开(公告)号：CN109074051B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201680081876.0

申请日：2016-03-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 上田宜史 ,  今村诚 ,  中村隆显 ,  平井规郎

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 质量管理装置(20)具有：回归分析部(33)，其根据从前道工序取得的测定值及从后道工序取得的比较用测定值计算回归式；余量判定部(34)，其将规定该前道工序中的判定基准范围的判定基准值代入到该回归式的解释变量中计算预测值，将该预测值与后道工序中的比较用判定基准范围进行比较，判定测定值是否被容许；以及基准值计算部(35)，其根据该判定结果计算应替代判定基准值的新的判定基准值。

公开(公告)号：CN112368683A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN201880095139.5

申请日：2018-07-03

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中村隆显

IPC: G06F11/30

Abstract: 具备：抽出条件输入部(101)，受理包含机器的状态的变化点的波形数据、该波形数据的参数信息及机器的迁移信息的输入；类似度计算部(105)，计算机器的时间序列数据与波形数据的类似度；运转模式判定部(107)，根据机器的迁移信息，设定机器的状态；变化点检测部(106)，根据计算出的类似度及判定的机器的状态，从机器的时间序列数据检测变化点，设定作为时间序列数据的部分序列的区段的开始时刻及区段的结束时刻；以及信息输出部(108)，输出机器的状态、区段的开始时刻及区段的结束时刻作为区段信息。

公开(公告)号：CN109074051A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201680081876.0

申请日：2016-03-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 上田宜史 ,  今村诚 ,  中村隆显 ,  平井规郎

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 质量管理装置(20)具有：回归分析部(33)，其根据从前道工序取得的测定值及从后道工序取得的比较用测定值计算回归式；余量判定部(34)，其将规定该前道工序中的判定基准范围的判定基准值代入到该回归式的解释变量中计算预测值，将该预测值与后道工序中的比较用判定基准范围进行比较，判定测定值是否被容许；以及基准值计算部(35)，其根据该判定结果计算应替代判定基准值的新的判定基准值。

公开(公告)号：CN107851291A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201580082003.7

申请日：2015-07-28

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 今村诚 ,  中村隆显

IPC: G06Q50/10

CPC classification number: G06Q10/063 ,  G06F17/18 ,  G06Q50/10

Abstract: 具备片段振动列确定部(3)和数据库登记部(4)，该片段振动列确定部(3)在时序数据(X)中，对由片段提取部(2)提取出的上升片段和下降片段交替出现的片段的序列即片段振动列进行确定，对构成该片段振动列的片段的数量即振动数及片段振动列的开始时间点和结束时间点的范围即窗口尺寸进行计数，该数据库登记部(4)将由片段振动列确定部(3)确定出的片段振动列的开始时间点的观测时刻、该片段振动列所包含的片段的振幅、以及由片段振动列确定部(3)计出的振动数及窗口尺寸的组，作为片段振动数据登记于数据库(5)。

公开(公告)号：CN106233208A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201480078160.6

申请日：2014-05-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 今村诚 ,  中村隆显

IPC: G05B9/02

CPC classification number: G05B19/4063 ,  G05B19/408 ,  G05B23/0221 ,  G05B2219/40357 ,  G06K9/0055

Abstract: 时间序列数据处理装置(10)将随着时间的经过而依次得到的值的列即时间序列数据作为输入。时间序列数据处理装置(10)提取值随着时间的经过而上升或者下降的部分列数据作为扩展区间，其中，该部分列数据是从时间序列数据中切出的。时间序列数据处理装置(10)从提取出的扩展区间中，确定值随着时间的经过而上升的扩展上升区间和值随着时间的经过而下降的扩展下降区间的出现模式。

公开(公告)号：CN105493050A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480046468.2

申请日：2014-08-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中村隆显 ,  菅野干人

IPC: G06F12/00 ,  G06F17/30

CPC classification number: G06F17/30424

Abstract: 计测值表设计部(121)将树结构数据分割成多个子树，使得与各个子树相关联的计测设备的数量在计测值能够存储于计测值表中的计测设备的上限数即表存储设备数以下，并判断分割而得到的子树是否处于确定状态，对处于确定状态的子树分配对来自与该子树相关联的计测设备的计测值进行存储的计测值表。将不处于确定状态的子树进一步分割成多个子树。