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公开(公告)号：CN106796391A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580046926.7
申请日：2015-09-18
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：配置有防护膜的第1框体；支持上述第1框体的第2框体；贯通上述第1框体的贯通孔；以及在上述第1框体的配置有上述防护膜的面侧覆盖上述贯通孔的过滤器。上述贯通孔可以贯通上述防护膜，上述过滤器可以配置在上述防护膜上。此外，上述过滤器可以与上述防护膜相邻地配置在上述第1框体上。
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公开(公告)号：CN106662806A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580046947.9
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64 , G03F7/2008 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN102666676B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201080050850.2
申请日：2010-11-11
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08J5/18 , C08G18/38 , G02B5/30 , G02F1/1335
CPC classification number: C08J5/18 , B29C41/003 , B29D11/00788 , B29K2075/00 , B29L2011/00 , C08G18/3876 , C08G18/7621 , C08G18/7642 , C08G18/7671 , C08J2375/04 , C09D175/04 , G02B1/111 , G02B1/18 , G02B5/021 , G02B5/045 , G02B5/0841 , G02B5/208 , G02B5/3033 , G02B5/3083 , Y10T428/31551
Abstract: 本发明的膜的特征在于，由具有硫代氨基甲酸酯键的树脂构成，该树脂中含有的硫与氮的摩尔比(S/N)为0.8以上、小于3。根据本申请的发明提供一种在高折射率、低双折射率及透光性的均衡性方面优异的膜，进而，该膜在韧性、刚性、尺寸稳定性等机械特性的均衡性方面优异，加工时的变形等的影响极小，另外在耐溶剂性方面也优异。
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公开(公告)号：CN117377909A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202280032208.4
申请日：2022-08-25
Applicant: 三井化学株式会社
Inventor： 小野阳介
IPC: G03F1/62
Abstract: 一种防护膜，其包含多个碳纳米管，上述多个碳纳米管的下述式(1)所表示的直线性参数的平均值为0.10以下。式(1)：直线性参数＝单管的宽度的标准偏差Sa/上述宽度的平均值Aa。上述式(1)中，上述单管表示上述多个碳纳米管所含的1根碳纳米管，上述标准偏差Sa和上述平均值Aa各自基于沿上述单管的长边方向每隔2nm间隔测定上述单管的宽度而得的11处的测定值来算出。
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公开(公告)号：CN112154376B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201980031898.X
申请日：2019-06-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/673
Abstract: 提供支撑框、在该支撑框上设置有极紫外光光刻用的防护膜的防护膜组件、和支撑框的制造方法、以及使用它们的曝光原版和曝光装置，该支撑框在通气孔上设置有能够容易装卸的过滤器，并能够设置极紫外光光刻用的防护膜。提供的防护膜组件用支撑框，具有第一支撑框部、第二支撑框部和过滤器，所述过滤器具有平板状的框形状，被所述第一支撑框部和所述第二支撑框部夹持，所述第一支撑框部具有：第一主体部，具有平板状的框形状；以及第一卡合部，从所述第一主体部向所述防护膜组件用支撑框的厚度方向突出，所述第二支撑框部具有：第二主体部，具有平板状的框形状；以及第二卡合部，配置在所述第二主体部的沿所述防护膜组件用支撑框的厚度方向设置的凹部，并与所述第一卡合部卡合。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN112088334A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980017088.9
申请日：2019-03-01
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。
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公开(公告)号：CN109313385A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035395.0
申请日：2017-06-20
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供尘埃等的附着降低了的EUV用防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法。本发明提供防护膜组件的制造方法，在基板(200)上形成防护膜(202)，在上述基板的与形成有上述防护膜的面相反侧的面上形成金属的掩模(204)，从上述金属掩模侧除去上述基板的一部分，除去上述金属掩模。根据本发明的一个实施方式，本发明能够提供尘埃等的附着降低了的EUV用防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法。
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