公开(公告)号：CN119422236A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202380049748.8

申请日：2023-06-16

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 三浦祐治

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/22

Abstract: 图案匹配方法根据设计数据计算多个检查区域(A1～A10)内的各个图案密度，根据该数值将图案密度分割为多个密度组(PG1～PG3)，通过扫描电子显微镜(1)生成多个检查区域的各自的图像，执行图像上的图案与CAD图案的图案匹配，根据图案匹配的结果，计算与多个检查区域(A1～A10)分别对应的多个图像偏移量，将多个检查区域(A1～A10)分割为与多个密度组(PG1～PG3)对应的多个区域组(AG1～AG3)，计算与多个区域组(AG1～AG3)分别对应的多个修正量(C1～C3)。

公开(公告)号：CN118871777A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202380027250.1

申请日：2023-03-07

Applicant: 东丽工程株式会社 ,  塔斯米特株式会社

Inventor： 久世康之

IPC: G01N21/956

Abstract: 提供一种能够以简单的方法自动地检测用于拍摄包含缺陷的区域的最佳光学条件缺陷检查装置。缺陷检查装置(1)具备：光学显微镜(10)，其具备拍摄芯片(31)的图像的摄像部(14)；控制部(20)，其控制用于拍摄芯片的图像的光学条件；以及存储部(25)，其存储有预先检测出的芯片内的缺陷的位置，摄像部一边改变光学条件，一边拍摄第一图像以及第二图像，第一图像是存储在存储部中的包含缺陷的区域的图像，第二图像是与包含缺陷的区域相同的区域、且不包含缺陷的区域的图像，缺陷检查装置具备检测单元，该检测单元通过对第一图像的特征量和第二图像的特征量进行比较，检测用于拍摄包含缺陷的区域的最佳光学条件。

公开(公告)号：CN118786340A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202380023462.2

申请日：2023-01-18

Applicant: 东丽工程株式会社 ,  塔斯米特株式会社

Inventor： 村田浩之

IPC: G01N21/89

Abstract: 即使在一张基板上排列有多个发光色不同的LED元件，也能够以高吞吐率进行检查。具体而言，一种荧光检查装置，其使配置于基板上的LED元件进行荧光发光而进行检查，荧光检查装置具备基板保持部、激励光照射部、摄像部、相对移动部、检查部、控制部，激励光照射部具备第一光源及第二光源，摄像部包括：第一摄像机，其拍摄包含从被照射了第一波长的光的LED元件放射的荧光波长的光的检查图像；以及第二摄像机，其拍摄包含从被照射了第二波长的光的LED元件放射的荧光波长的光的检查图像，控制部使第一摄像机的拍摄与第一光源的发光同步，并且使第二摄像机的拍摄与第二光源的发光同步，并且一边使相对移动部在一个方向上相对移动，一边将第一摄像机与第二摄像机的拍摄定时错开而交替地进行拍摄。

公开(公告)号：CN113614874A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080023950.X

申请日：2020-03-06

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 丸山浩太郎

IPC: H01J37/22 ,  H01L21/66 ,  G01N23/2251

Abstract: 本发明涉及一种图像生成方法，该图像生成方法选择存在具有比阈值高的唯一性值的图案的剪辑区域(C1)，确定存在于选择的剪辑区域(C1)内的特定点，即第1特定点(P1)，由扫描电子显微镜生成通过确定的第1特定点(P1)的坐标所确定的芯片上的第1点(F1)的图像，计算表示第1特定点(P1)与图像上的第1点(F1)的偏移的多个矢量(V1)，确定存在具有阈值以下的唯一性值的图案的剪辑区域内的第2特定点(P5)，基于矢量(V1)来校正确定的第2特定点(P5)的坐标。

公开(公告)号：CN111801764A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201980016742.4

申请日：2019-03-01

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 嘉藤诚 ,  佐佐木澄夫 ,  田中幸浩 ,  山崎裕一郎

IPC: H01J37/05 ,  G01N23/20 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。