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公开(公告)号:CN116394013A
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN202310472582.2
申请日:2023-04-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P25/00
Abstract: 一种针对铝基碳化硅的CCP、激光辅助铣削装置,硬脆材料技术领域。用于解决铝基碳化硅等硬脆零件的加工效率和质量问题,从而大大缩短加工周期,降低加工成本,以满足航天航空、电子、军事等领域的对该类零件需求。CCP等离子体发生装置和激光输出装置均安装在铣削主轴上,并确保等离子体反应环境与激光光斑位于待加工区域,在铣刀加工前将工件表面进行改性,射频电源与CCP等离子体发生装置进行连接,混合等离子体气源与CCP等离子体发生装置连接,激光源将激光传输到激光输出装置中。本发明采用CCP、激光辅助加工,改变被加工材料的表面性能,提高铣削效率与铣削质量,减少刀具损失,克服传统单一铣削方式中存在的加工周期长,表面质量差等缺点。
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公开(公告)号:CN116295997A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310060087.0
申请日:2023-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种使用气体静压轴承的导电游丝弯矩测量系统,所述测量系统包括主轴电机、联轴器、回转工作台、回转轴、高台、工作台和光栅系统,其中:所述回转工作台冷装套设在回转轴上;所述回转轴通过联轴器与主轴电机连接;所述高台固定在工作台上,且高台对称布置在回转工作台两侧;所述光栅系统包括圆标尺光栅、读数头和光栅数显仪;所述圆标尺光栅绕在回转工作台的外侧表面;所述读数头固定在工作台上与圆标尺光栅配对使用;所述光栅数显仪上集成有电子细分电路,且通过电缆与读数头连接。本发明可以实现对不同结构、不同材料的导电游丝的合力矩进行测试,以便确定最小干扰力矩的游丝布置方案,通过控制上实现测量自动化。
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公开(公告)号:CN116237777A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202310472586.0
申请日:2023-04-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P25/00
Abstract: 一种针对铝基碳化硅的CCP、激光辅助铣削方法,属于硬脆材料技术领域。利用了等离子体化学反应对SiC颗粒增强铝基复合材料中的SiC颗粒进行化学改性,以及激光产生的高温改变铝基材料的切削特性,实现高效率,高质量加工方式。包括以下步骤:S2.设定CCP加工参数及激光功率,调节CCP等离子体发生装置以及激光输出装置安装位置与角度;S3.在牺牲工件上预热加工;S4.将铣削主轴移出加工区域到牺牲工件上。本发明采用的CCP大气等离子体与激光辅助系统相对于激光或者电加热的辅助加工方式,可以提高加工精度,加工后的SiC颗粒增强铝基复合材料表面粗糙度RMS可达20nm。CCP等离子体反应具有材料选择性,方便精确控制SiC硬质颗粒的去除,适合辅助加工。
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公开(公告)号:CN112621388B
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202011614645.6
申请日:2020-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本发明公开了一种基于PSD的并联机床刀具姿态在线监测装置及监测方法,包括监测装置,监测装置包括动平台、刀具和位姿监测装置,刀具安装在动平台中的轴上,位姿监测装置安装在动平台上,位姿监测装置包括激光发生器、第一PSD、第二PSD和反射镜,监测装置在自然状态下,刀具的位姿与激光发生器相同,监测装置在运动过程中,刀具位姿与PSD和光杠杆反射镜垂直,装置具体功能实现依赖于PSD光杠杆方法原理,创新性的将PSD光学位置反馈应用于刀具的空间姿态的监测,通过采用常规的PSD传感器,利用激光发生器自身重力,结构简单,成本低廉,反馈精度能实现五轴并联加工终端反馈,同时有利于实现商品化。
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公开(公告)号:CN116123170A
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202310092984.X
申请日:2023-02-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀,属于液压阀技术领域。液压阀芯,包括阀芯及套设在阀芯上的薄壁结构,薄壁结构的内侧壁开设环状凹槽,阀芯内部开设有液压油流道,液压油流道的入口端设置在阀芯的端面上,液压油流道的出口端在与环状凹槽连通,液压油通过液压油流道流入环状凹槽,从而改变阀芯在液压阀内的液压降分布情况,以实现阀芯自定心。本发明的液压阀芯仅由两部分组成且结构简单,无需加工同心的均压槽或外加辅助装置避免卡紧,利用液压油的高压作用实现阀芯微变形进而实现自定心,提高加工效率;且无论在阀芯哪侧通高压都实现顺锥效果,能够提高装配效率;利用顺锥利于自定心的特点,提高阀芯工作精度和可靠度。
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公开(公告)号:CN115229516B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202210906005.5
申请日:2022-07-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 哈尔滨工业大学 , 沈阳精锐数控机床有限公司
Abstract: 本发明公开了一种中型柔性精密加工生产线,包括卧式加工中心、中央刀库系统和物料缓存系统,卧式加工中心和中央刀库系统靠近物料缓存系统设置,卧式加工中心用于中型结构件的加工,中央刀库系统用于储存卧式加工中心所用刀具,物料缓存系统用于储存中型结构件。本发明的优点在于,能够实现卧式加工中心的自动上下料及自动更换刀具,不需要手工对刀,系统自动找补,保证了加工质量及加工产品一致性,还缩短了工件生产周期。
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公开(公告)号:CN115122137B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202210905998.4
申请日:2022-07-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 沈阳精锐数控机床有限公司 , 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q7/00
Abstract: 本发明公开了一种小型物料缓存系统及缓存方法,包括物料缓存库、物料平移工作站和物料搬运结构,所述物料平移工作站均靠近物料缓存库设置,所述物料搬运结构能够移动的设置在物料缓存库上;所述物料搬运结构包括物料搬运支架、物料水平移动结构、物料竖向运动结构、物料旋转运动结构和物料夹取组件,所述物料旋转运动结构包括定连杆、左伺服电机、右伺服电机、左丝杆、右丝杆、三角连杆、第一连杆、第二连杆和动连杆。本发明的优点在于,实现了待加工物料与已加工物料的自动上下机床,减少了大量的劳动力,还能自动提前将待加工的物料放置在卧式加工中心上,减少了上下料过程机床的等待时间,提高机床的加工效率,进而缩短了工件生产周期。
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公开(公告)号:CN116079083A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202310161188.7
申请日:2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备,属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上,刀具组件设置在辊筒模具下方,且刀具组件安装在串联双转台上,串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔,充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势,改进了柱面菲涅尔仿形加工方法,去除了用于调整刀具的手动位移台,保证机床整体刚度;同时主轴C轴采用气体静压主轴,将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度,大大提高其抗干扰能力,X轴和Z轴均为液体静压导轨,低速无爬行,在保证承载力的同时提高了直线运动精度,达到超精密加工要求。
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公开(公告)号:CN116067309A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202310161350.5
申请日:2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30 , F16F15/023
Abstract: 一种晶圆平面度检测机,属于超精密加工装备领域。四个隔振器对称设置并固定于检测机支架上,底座固定于四个隔振器上,气浮转台固定于底座上,三点支撑组件固定在气浮转台上,测量盘设置在三点支撑组件上,两个定心气缸组件分别固定在底座上,X轴组件两端固定在两个立柱上,两个立柱固定在底座上,X轴组件的X轴气体静压导轨与气浮转台轴垂直布置,非接触式传感器通过固定在其上的固定座固定在X轴组件的X轴溜板上,非接触式传感器在X轴组件的X轴直线电机驱动下,沿X轴气体静压导轨移动,对晶圆平面度进行检测。本发明的晶圆平面度检测机可以实现较高精度的检测,检测精度可达0.4μm,同时具有较大的测量范围,可测量直径在400mm以内的晶圆平面度。
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公开(公告)号:CN116021048A
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202310059204.1
申请日:2023-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 本发明公开了一种低风阻高速主轴转子结构,所述高速主轴转子结构包括主轴转子和沙丘状形体,所述主轴转子的外侧壁加工有若干个沙丘状形体,沙丘状形体在主轴转子的外侧壁沿圆周方向均匀分布,沙丘状形体为“C”形齿,“C”形齿上表面与左侧面一体设置有一向上凸起的弧形面a,所述弧形面a为凸坡,“C”形齿右侧面设置有一凹向左侧的弧形面b,所述弧形面b为凹坡。本发明在主轴转子的侧面加工出沿圆周均匀分布的沙丘状形体,降低了主轴转子在高速运动下的风阻,减小了主轴噪声。传统高速主轴转子风阻较大,主轴转子与其周围流体间存在着较大的摩擦阻力与摩擦功耗,而本发明中主轴转子风阻较低,所需摩擦功耗较低,能够降低电机的功率损耗。
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