-
公开(公告)号：CN114371551A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202011096018.8
申请日：2020-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳加工技术领域，特别涉及一种微镜结构及其制备方法。衬底晶圆包括相对的第一表面和第二表面，所述驱动电极层设置在所述第一表面；所述衬底晶圆和所述驱动电极层上设有通孔；所述第一绝缘层设置在所述驱动电极层的表面和所述通孔的内壁上；所述支撑梁的第一端穿过所述通孔与所述固定层连接，所述支撑梁与所述通孔之间存在第一预设间隙；所述固定层设置在所述第二表面；所述驱动电极层中设有第一驱动电极、第二驱动电极和屏蔽电极；所述微镜设置在所述支撑梁的第二端上，所述微镜与所述第一绝缘层之间存在第二预设间隙。本申请实施例所述的微镜结构可以在减小单元尺寸的同时保证微镜的面内横向位移可与入射光波长相比拟。
-
公开(公告)号：CN111721456B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010152321.9
申请日：2020-03-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种复合触觉传感器，其包括力传感器，用于检测目标物体的压力值；摩擦发电机，该摩擦发电机与该力传感器连接，该摩擦发电机用于检测该目标物体与该摩擦发电机的接触滑移；支撑层，该支撑层上设有该力传感器和该摩擦发电机，该支撑层用于承载集成该力传感器和该摩擦发电机。本发明提供的复合触觉传感器具有能耗低的特点。
-
公开(公告)号：CN112484800B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202011332941.7
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：(111)单晶硅衬底；与衬底相连接的隔热薄膜，且共同围成一个隔热腔体；加热元件；一对呈“<>”状的热电堆，位于隔热薄膜下表面且对称分布于加热元件两侧，每个热电堆尖端处两条轮廓线的夹角为120°，热电堆由至少一对悬挂于隔热薄膜下表面的沿 晶向的P+单晶硅热偶臂和N+单晶硅热偶臂组成的P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对构成，两个热偶臂及热电堆与加热元件之间通过隔离槽隔离。本发明的结构选择塞贝克系数最大的单晶硅，且可在有限的尺寸下将热偶臂的等效长度做的更长，提高传感器的灵敏度；另外还可增大P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对热端与单晶硅加热元件之间的间距，调整量程和测量精度。
-
公开(公告)号：CN113979485A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111242255.5
申请日：2021-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01G53/00
Abstract: 本发明提供一种透射电镜‑热重关联表征金属氢氧化物的方法，通过TEM‑TG联用芯片中的称重悬臂梁用以称量金属氢氧化物样品在升温过程中的质量变化，同时通过TEM‑TG联用芯片中的观测悬臂梁用以观察金属氢氧化物样品在升温过程中的形貌变化；从而本发明可对金属氢氧化物样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，实现在金属氢氧化物样品热重分析过程的同时表征金属氢氧化物样品的形貌/结构的演变，提高金属氢氧化物样品质量分辨率，使得测试结果更精准。
-
公开(公告)号：CN109663562B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910053294.7
申请日：2019-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/10 , C02F1/28 , B01J20/30 , C02F101/30
Abstract: 本发明提供一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，根据介孔二氧化硅材料的孔壁厚度与介孔二氧化硅材料对有机磷吸附活化能之间的定量关系，通过将两种具有不同孔壁厚度的介孔二氧化硅材料按比例混合，从而获得所需的对有机磷的吸附活化能，从而实现对有机磷吸附速度的控制。本发明提供的一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，无需专门制备具有对有机磷特定吸附速度的介孔二氧化硅材料，克服了传统的反复试验方法存在工作量大、耗时、缺乏定量比较依据等缺点，该方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110568222B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
-
公开(公告)号：CN113267546A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110545808.8
申请日：2021-05-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途，所述改性电极包括电极，所述电极的工作区域覆盖有复合材料层，所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极，基于电化学技术与丝网印刷电极，能够快速准确的检测液体中甲醛含量；测定方法简便快捷，无需复杂的仪器操作和前处理过程；检测成本低，甚至改性电极可一次性使用；检出时间快，仅需100秒就能完成测试；具有良好的灵敏度，可满足饮料中甲醛含量测试的要求。
-
公开(公告)号：CN113211720A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110495173.5
申请日：2021-05-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种PDMS微流控芯片注塑模具及制作方法，包括刚性模具和半刚性上盖；所述半刚性上盖由上至下包括支撑层、弹性密封层和防粘附层；所述支撑层或弹性密封层上设有支撑微柱阵列，所述支撑微柱阵列之间的空隙形成空腔。本发明可以制作出精确形状和厚度PDMS芯片，尤其是能批量制造高质量通孔结构，芯片浇铸时间短，省略了常规PDMS芯片制作过程中抽气、切割以及打孔环节；节约PDMS消耗，PDMS混合液几乎全部用于浇铸芯片，没有原材料浪费，可用于PDMS微流控芯片自动化工业制造。
-
公开(公告)号：CN112924510A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110112833.7
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种石墨烯基高熵合金纳米颗粒及其制备方法和应用，石墨烯基高熵合金纳米颗粒的制备方法包括：获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将预设量的氧化石墨烯粉末分散至所述前驱体溶液中，形成混合溶液；对所述混合溶液进行抽滤处理，获取负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜；采用激光直写技术对所述负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜进行辐射加热处理，获取石墨烯基高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够实现石墨烯载体上吸附的金属盐的快速热分解；能够有效抑制低元合金杂质相的析出，得到具有单一物相结构的高熵合金纳米颗粒；且能够实现高熵合金纳米颗粒的简单且快速的大规模合成。
-
公开(公告)号：CN112484800A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011332941.7
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法，包括：(111)单晶硅衬底；与衬底相连接的隔热薄膜，且共同围成一个隔热腔体；加热元件；一对呈“<>”状的热电堆，位于隔热薄膜下表面且对称分布于加热元件两侧，每个热电堆尖端处两条轮廓线的夹角为120°，热电堆由至少一对悬挂于隔热薄膜下表面的沿 晶向的P+单晶硅热偶臂和N+单晶硅热偶臂组成的P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对构成，两个热偶臂及热电堆与加热元件之间通过隔离槽隔离。本发明的结构选择塞贝克系数最大的单晶硅，且可在有限的尺寸下将热偶臂的等效长度做的更长，提高传感器的灵敏度；另外还可增大P+单晶硅‑N+单晶硅热偶对热端与单晶硅加热元件之间的间距，调整量程和测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
394
records
(took 0.068 seconds)
