气体供应装置用流量控制器的流量测定方法

    公开(公告)号:CN103282748B9

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201180064390.3

    申请日:2011-11-28

    IPC分类号: G01F1/00 G01F15/02 G01F25/00

    摘要: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定,并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成:分支管路(Lb),其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结,并且将其出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压力检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度;以及运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量,该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。

    流量测定系统
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102253080B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201110111622.8

    申请日:2011-04-20

    发明人: 大石安治

    IPC分类号: G01N25/20 G01F1/69

    摘要: 本发明提供一种能够容易计算气体的特性的温度扩散率测定系统。该温度扩散率测定系统包括:计测机构(10),其对发热元件以多种发热温度发热时的计测对象混合气体的散热系数或者热传导率的值进行计测;温度扩散率计算式存储装置(402),其保存以对于多种发热温度的散热系数或者热传导率为独立变量、以温度扩散率为从属变量的温度扩散率计算式;和温度扩散率计算部(305),其将对于多种发热温度的计测对象混合气体的散热系数或者热传导率的值代入温度扩散率计算式的对于多种发热温度的散热系数或者热传导率的独立变量,计算出计测对象混合气体的温度扩散率的值。

    用于确定在消费时间间隔内流过流量计的流体的质量的方法和设备

    公开(公告)号:CN103282751A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201180063040.5

    申请日:2011-11-24

    IPC分类号: G01F3/22 G01F15/04 G01F15/075

    摘要: 以在给定温度范围内波动的温度流过流量计的流体的质量通过如下步骤来确定:以流体体积流和激励磁体系统行进过的运动路径之间的精确相互关系通过该流体驱动激励磁体系统;每当激励磁体系统已经行进通过与流体的单位体积对应的运动路径时,借助于韦根导线和围绕所述韦根导线的线圈产生测量电压脉冲;在每个测量时间,使用包含在每个测量电压脉冲中的电能对第一存储器进行充电并使用所述能量作为测量流体瞬时温度的操作能量;生成作为最小可分辨的测量温度单位的整数倍的温度值和包含所述温度值的整数测量值,并将所述温度值添加到之前确定的测量值,所述和包含在非易失性存储器中,从而在所述非易失性存储器中形成连续的和;以及将所述连续的和转发到处理器,该处理器可以供应有外部能量并根据所述连续的和计算所述流体的温度修正的输送体积。

    气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法

    公开(公告)号:CN103282748A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201180064390.3

    申请日:2011-11-28

    IPC分类号: G01F1/00 G01F15/02 G01F25/00

    摘要: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定,并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成:分支管路(Lb),其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结,并且将其出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压力检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度;以及运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量,该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。