一种臭氧发生装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107720702A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201711136273.9

    申请日:2017-11-16

    CPC classification number: C01B13/11 C01B2201/40 C01B2201/74

    Abstract: 本发明公开了一种臭氧发生装置,在进气室、冷却室、出气室、反应通道、放电单元、第一进液口和第一出液口的基础上,增加了设于进气室与冷却室之间的第一隔离腔和设于出气室与冷却室之间的第二隔离腔、套设于反应通道上的隔离通道、设于第一隔离腔与第二隔离腔中的其中一个上的第二进液口和设于其中另一个上的第二出液口,隔离通道两端分别与第一隔离腔和第二隔离腔连通,隔离通道内表面与反应通道外表面之间设有用于供第二冷却液通过的间隙。本发明的一种臭氧发生装置,将在第一隔离腔、间隙和第二隔离腔中流通的第二冷却液与第一冷却液进行间接换热,避免了腐蚀性强的第一冷却液与反应通道直接接触,提高了设备安全性和使用寿命。

    一种等离子臭氧发生装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106865502A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710242154.5

    申请日:2017-04-11

    Inventor: 龚联克

    CPC classification number: C01B13/11 C01B2201/14 C01B2201/40 C01B2201/72

    Abstract: 本发明公开了一种等离子臭氧发生装置,属于环保技术领域。一种等离子臭氧发生装置包括放电电极组件和管状绝缘体;相邻放电电极组件之间形成介质阻挡放电间隙;所述放电电极组件和管状绝缘体同轴放置,形成介质阻挡放电间隙阵列。本发明呈低电容性,可以采用较高频的高压电源,在同等功率消耗条件下,效率更高,可靠性更好。可以与高频高压电源组合成单元模块,可以单独使用、串联使用或者并联使用的等离子臭氧发生装置,模块化设计可以根据需要,任意组合生产任意臭氧浓度,任意臭氧产量的臭氧发生器,产品体积大幅缩小。可广泛应用于废气处理及其它环保技术领域。

    用于多腔室工具的臭氧系统

    公开(公告)号:CN101243369B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200680030056.5

    申请日:2006-07-07

    Abstract: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即,多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态),并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即,约1秒)的响应时间。在EVENT期间,第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的,但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间,然而,第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性,并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

    n相臭氧发生装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1976870A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200480043451.8

    申请日:2004-09-29

    Abstract: 本发明的课题为以紧凑的型式、低廉的成本、生产大容量臭氧发生装置,同时改善装置的维修性。臭氧电源包括:变换成规定频率的交流电压并输出n相交流电压波形的n相逆变器4000;将n相交流电压变换成n相高电压交流电压的n个电抗器2000-a及n相的变压器2000-b;输出n相高电压交流电压的n个高压端子;以及具有公共电位的1个低压端子,多个臭氧发生器单元100在所述放电室内在电气上划分成n个,将n个高压电极端子和把臭氧发生器单元所有的低压电极作为公共的1个低压电极端子、从各个臭氧发生器单元引出,连接n个高压端子与n个高压电极端子,并连接1个低压端子与1个低压电极端子,通过这样在各臭氧发生单元发生n相的交流放电,产生臭氧。

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