光调制器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111164496A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201880064586.4

    申请日:2018-09-28

    Abstract: 本发明提供具有能够减小DC漂移的装置结构的光调制器。光调制器(100)具备:基板(1);波导层(2),其由在基板(1)上脊状地形成的电光材料膜构成,且包含互相相邻的第一和第二光波导(10a、10b);RF部(SRF),其对光波导(10a、10b)施加调制信号;以及DC部(SDC),其对光波导(10a、10b)施加DC偏置。DC部(SDC)包含:缓冲层(4),其至少覆盖光波导(10a、10b)的上表面;偏置电极(9a),其经由缓冲层(4)而与第一光波导(10a)相对;以及偏置电极(9c),其邻接于偏置电极(9a)而设置,对偏置电极(9a、9c)之间施加DC偏压,至少在偏置电极(9a、9c)之间的下方,设置有波导层(2)的至少一部分被去除了的波导层去除区域(D)。

    光调制器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111051970A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880054814.X

    申请日:2018-07-31

    Abstract: 本发明提供电极损耗低且高频特性良好并且能够通过向光波导施加的电场效率的提高来进行低电压驱动的光调制器。光调制器(100)具备:互相相邻的第一和第二光波导(10a、10b),其由在基板(1)上脊状地形成的电光材料膜构成;缓冲层(4),其至少覆盖第一和第二光波导(10a、10b)的上表面;以及第一和第二信号电极(7a、7b),其设置于缓冲层(4)的上方。第一和第二信号电极(7a、7b)分别具有:经由缓冲层(4)而分别与第一和第二光波导(10a、10b)相对的第一和第二下层部(7aL、7bL)、以及分别设置于第一和第二下层部(7aL、7bL)的上方的第一和第二上层部(7aH、7bH),下层部(7aL、7bL)的下表面的宽度(WaL、WbL)比上层部(7aH、7bH)的宽度(W7a、W7b)窄。

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