-
公开(公告)号：CN105980934A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580008223.5
申请日：2015-01-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G06F17/5009 , G03F7/705 , G03F7/70525 , H01L22/20
Abstract: 本发明披露一种用于器件制造过程的由计算机实施的缺陷预测方法，该器件制造过程涉及将图案加工至衬底上，该方法包括从该图案识别出工艺窗口限制图案(PWLP)；确定所述PWLP被加工所依据的工艺参数；和使用所述工艺参数来确定或预测利用所述器件制造过程由所述PWLP产生的缺陷的存在、存在机率、特性、或其组合。
Search Results
11
records
(took 0.026 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
