公开(公告)号：CN118197961A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410333976.4

申请日：2024-03-22

Applicant: 重庆大学

Inventor： 刘丹 ,  方亮 ,  黄中浩 ,  陈国良 ,  吴芳 ,  张淑芳 ,  刘高斌 ,  管飞 ,  吴波 ,  熊永 ,  吴旭 ,  林鸿涛

IPC: H01L21/67 ,  A61L2/232

Abstract: 本发明公开了一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置；所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统，所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵，所述抑菌循环管上缠绕有超导螺线圈；所述水箱上还设有振荡腔，所述振荡腔内设有压电换能器，所述振荡腔的一面连接抑菌循环管，所述振荡腔相对的另一面形成倒V字型凹陷并且连接文杜里管，所述文杜里管的出口连接矢量喷管，所述矢量喷管设置在水箱内；所述风干区间的入口处设有气帘风刀，所述气帘风刀用于沿着竖直方向吹气形成气帘，防止第二水洗区间的水汽进入风干区间。本发明解决了水洗干燥装置中的细菌问题。

公开(公告)号：CN114695207A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210326399.7

申请日：2022-03-30

Applicant: 重庆大学

Inventor： 刘丹 ,  方亮 ,  黄中浩 ,  刘毅 ,  林鸿涛 ,  吴旭 ,  张淑芳 ,  吴芳

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种带有等离子体清洗的湿法刻蚀装置，所述湿法刻蚀装置包括等离子体清洗腔和刻蚀腔；所述湿法刻蚀装置还包括涡流管、冷却风刀Ⅰ、冷却风刀Ⅱ、加热风刀Ⅰ和加热风刀Ⅱ；所述涡流管的冷气管分别与冷却风刀Ⅰ和冷却风刀Ⅱ连通，所述涡流管的热气管分别与加热风刀Ⅰ和加热风刀Ⅱ连通。本发明通过引入涡流管形成特殊的气路装置，该装置可以将气体分离成冷气体和热气体，冷气体对基板和等离子体清洗腔进行降温，避免高压等离子体对Al、Cu、ITO等膜层的损伤，又可以充分去除有机物避免刻蚀残留，还能抑制挥发出的刻蚀蒸汽对膜层的腐蚀，防止线宽偏小的问题。同时，该装置分离出的热气体可以确保刻蚀腔室温度分布均匀，提升刻蚀均一性。