公开(公告)号：CN114318255A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111500588.3

申请日：2021-12-09

Applicant: 贵研铂业股份有限公司

Inventor： 闻明 ,  管伟明 ,  陈力 ,  王传军 ,  普志辉 ,  杨海 ,  李思勰 ,  许彦亭 ,  沈月 ,  巢云秀

IPC: C23C14/34 ,  C22C19/03 ,  C23C14/16 ,  C23C14/26 ,  C22F1/10 ,  C22C1/06 ,  C22C1/02

Abstract: 本发明公开了一种由易氧化金属镀膜保护制备的高致密NiV合金溅射靶材及其制备方法，所述溅射靶材之基材原料由纯度≥99.99wt％的Ni和V金属组成，其中V：5~8wt％，Ni：92~95wt％；所述基材表面有易氧化金属保护镀膜，其膜层厚度≤5μm；溅射靶材致密度≥99.5%，且表面无肉眼可见的缺陷，氧含量低于30ppm，靶材的晶粒尺寸均匀，其平均晶粒尺寸为10~30μm；所述溅射靶材之表层机加工处理的去除深度≤0.5mm。其制备方法由基材铸锭与清洗处理、基材镀膜、坯材轧制、再结晶处理和机加工处理工艺实现。本发明基于“控氧+优先保护”原理，降低基材氧含量，基材表面优先溅射易氧化金属保护镀层，抑制“夹生”脆性氧化物，提高了靶材优材率，降低了表层去除深度，减少靶材浪费，节约成本。