-
公开(公告)号：CN102192735A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110066550.X
申请日：2011-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西泽竜太
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供振动型陀螺元件、传感器及其物理量检测方法和电子设备。其课题在于提高振动型陀螺传感器检测精度。振动型陀螺元件具有：基部；从所述基部起在规定面内朝第一方向延伸的检测臂；第一驱动臂，其从检测臂的连接部起朝在规定面内作为与第一方向交叉的方向的正的第二方向延伸；以及第二驱动臂，其从检测臂的连接部起朝负的第二方向延伸，第一驱动臂与第二驱动臂分别以沿与规定面垂直的第三方向且位移方向彼此相同的方式进行振动，利用绕第一方向的轴作用的角速度，沿第二方向产生科里奥利力，在检测臂上产生第二方向的检测振动，对应于检测振动所造成的变形而产生电场，电荷进行移动，从设置在检测臂上的检测电极提取出电信号。
-
公开(公告)号：CN113048967A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110318966.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5614
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
-
公开(公告)号：CN104579225B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201410584193.X
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03B5/32 , H03H3/0076 , H03H9/0542 , H03L1/028
Abstract: 提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。
-
公开(公告)号：CN103376100B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201310146091.5
申请日：2013-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: H01L41/0475 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。
-
公开(公告)号：CN106482719A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610719483.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104702240A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410727644.0
申请日：2014-12-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5621 , G01C19/5607
Abstract: 本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。
-
公开(公告)号：CN104596494A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410601641.2
申请日：2014-10-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5649 , G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5607 , G01P3/02 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种即使受到了绕检测轴的旋转振动的情况下，也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动体。本发明的角速度传感器在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第一旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]，将与第一旋转振动模式为反相、且随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第二旋转振动模式的谐振频率设为f4[Hz]时，满足f1＜f2＜f3＜f4的关系，或者，满足f1＜f2＜f4＜f3的关系。
-
公开(公告)号：CN103376100A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310146091.5
申请日：2013-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/0475 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。
-
公开(公告)号：CN113048967B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202110318966.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5614
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配
-
公开(公告)号：CN104075701B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201410119976.0
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
35
records
(took 0.039 seconds)
