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公开(公告)号:CN102205717A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201110060713.3
申请日:2011-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/083
CPC classification number: H01L41/0533 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置,能够防止铋向振动板扩散并且减少环境负荷。液体喷射头具备:设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成的振动板;设置在上述振动板上的氧化钛层;设置在上述氧化钛层上,含有铋的含铋层;形成在上述含铋层上,由白金构成的第一电极;设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成的压电体层;形成在上述压电体层上的第二电极。
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公开(公告)号:CN102205717B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201110060713.3
申请日:2011-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/083
CPC classification number: H01L41/0533 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置,能够防止铋向振动板扩散并且减少环境负荷。液体喷射头具备:设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成的振动板;设置在上述振动板上的氧化钛层;设置在上述氧化钛层上,含有铋的含铋层;形成在上述含铋层上,由白金构成的第一电极;设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成的压电体层;形成在上述压电体层上的第二电极。
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公开(公告)号:CN102529373A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110409697.4
申请日:2011-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电陶瓷。本发明提供具备环境负荷小、变形量和可靠性得到了提高的压电元件的液体喷射头等。本发明的液体喷射头包括与喷嘴孔连通的压力产生室和压电元件,所述压电元件具有压电体层和对上述压电体层施加电压的电极;上述压电体层由含有铋、钡、铁和钛的具有钙钛矿型结构的复合氧化物形成,上述压电体层的(111)面的取向强度α相对于(100)面的取向强度β的强度比γ(α/β)为3以上。
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公开(公告)号:CN102180011A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201110003856.0
申请日:2011-01-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷头和液体喷射装置以及压电元件,其中液体喷头具有不含铅且绝缘性高能够抑制泄漏电流发生的压电元件。该液体喷头具备压力发生室和压电元件,其中上述压力发生室与喷嘴开口连通,上述压电元件具备:第1电极、形成在上述第1电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层、形成在上述压电体层上的第2电极,上述压电体层还含有钛。
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公开(公告)号:CN102152629A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110003810.9
申请日:2011-01-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/318 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供液体喷头、液体喷射装置、压电元件及液体喷头的制造方法,其中液体喷头具有不含铅且压电特性优越的压电元件。该液体喷头具备压力发生室和压电元件,其中上述压力发生室与喷嘴开口连通,上述压电元件具备:第1电极、形成在上述第1电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层、形成在上述压电体层上的第2电极,上述压电体层的结晶优先取向于(111)面。
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