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公开(公告)号：CN111487438B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202010072227.2
申请日：2020-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，惯性传感器具有基板、绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动的可动体、支承所述可动体且固定于所述基板的固定部、以及固定于所述基板且通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移的挡块，所述挡块具有沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为L1的第一挡块以及沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2的第二挡块，所述可动体在进行了所述旋转位移时，与所述第一挡块及所述第二挡块同时接触。
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公开(公告)号：CN113358900A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110187850.7
申请日：2021-02-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。
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公开(公告)号：CN113533783B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202110418163.1
申请日：2021-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体，惯性传感器(1)具备基板(20)；固定电极(24、25)，配置于基板；元件部(30)，包括可动体(31)，该可动体能够相对于固定电极位移，并在第一部分(42)和与固定电极相对的第二部分(43)上具有电极；突起(23)，限制可动体的位移量，并在与可动体的第一部分对置的部分上具有检测电极(27)；驱动电路(68)，向元件部输出驱动信号；接触检测电路(80)，通过可动体的第一部分的电极与突起的检测电极接触而输出检测信号；自诊断电路，当从接触检测电路接收到检测信号时，向元件部输出测试信号；以及判定电路，判定元件部接收到测试信号后输出的信号的电平是否超过了阈值。
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公开(公告)号：CN115342795A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210508551.3
申请日：2022-05-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明提供一种惯性传感器以及惯性测量装置，防止针对过度冲击的可动体的贴附。一种惯性传感器(1)，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，检测基于Z轴的位移的物理量，其中，所述惯性传感器具备：基板(10)；可动体(21)，固定于基板(10)，并绕沿着X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(21a、21b)和将它们之间连接的侧面(21c、21d)；以及限制部(19)，固定于基板(10)，并与可动体(21)的侧面(21c、21d)对置，可动体(21)在与限制部(19)对置的部分具备弹性部(25)。
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公开(公告)号：CN111735990B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010075194.7
申请日：2020-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性传感器、电子设备以及移动体。在将相互正交的三轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着所述Y轴的摇动轴而摇动；固定部，固定于所述基板，用于支承所述可动体；以及止动件，固定于所述基板，通过与所述可动体接触来限制所述可动体的绕所述Z轴的旋转位移，在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件与所述基板相接合的止动件接合区域位于将所述可动体在沿所述Y轴的方向上延长而得第一区域内，所述止动件的位于所述第一区域外的部分从所述基板分离。
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公开(公告)号：CN113899354A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202110764282.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
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公开(公告)号：CN111487438A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010072227.2
申请日：2020-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，惯性传感器具有基板、绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动的可动体、支承所述可动体且固定于所述基板的固定部、以及固定于所述基板且通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移的挡块，所述挡块具有沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为L1的第一挡块以及沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2的第二挡块，所述可动体在进行了所述旋转位移时，与所述第一挡块及所述第二挡块同时接触。
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公开(公告)号：CN109668554A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811197971.4
申请日：2018-10-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明提供物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，并能够高精度地检测作为检测对象的物理量。本发明的物理量传感器具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。
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