公开(公告)号：CN101051669A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200710091649.9

申请日：2007-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  角浩二 ,  野口元久 ,  横山直人 ,  齐藤刚

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  B41J2/14 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。

公开(公告)号：CN105835528B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201610056387.1

申请日：2016-01-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 横山直人

IPC: B41J2/14 ,  H01L41/083

Abstract: 本发明提供了一种能够对因压电体层的氧缺损的偏析而引起的压电元件的劣化进行抑制，并能够长时间良好地对压电元件进行驱动的压电元件的驱动方法。在压电元件(300)的驱动方法中，所述压电元件(300)具备：第一电极(60)；压电体层(70)，其被形成在第一电极(60)上，且由ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成；第二电极(80)，其被形成在压电体层(70)上，在通过预定的驱动波形而对压电元件(300)进行了预定次数的驱动后，使驱动波形的极性反转并对该压电元件(300)进行驱动。

公开(公告)号：CN109484031A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811042820.1

申请日：2018-09-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 横山直人 ,  中山雅夫 ,  平井荣树

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  H01L41/04

Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。

公开(公告)号：CN100595942C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200710091649.9

申请日：2007-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  角浩二 ,  野口元久 ,  横山直人 ,  齐藤刚

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  B41J2/14 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。