公开(公告)号：CN113048967A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110318966.X

申请日：2016-08-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  山口啓一 ,  中川啓史

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614

Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。

公开(公告)号：CN106969760A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201610947746.2

申请日：2016-10-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 石井昌宏 ,  山口啓一 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5614 ,  H01L41/1132 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5649

Abstract: 本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有：检测臂(221)，其沿着Z轴方向进行驱动振动，且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动；第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354)，它们被配置在检测臂(221)上。并且，第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。此外，第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。

公开(公告)号：CN103115619B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201210460416.2

申请日：2012-11-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大泽征司 ,  山口啓一 ,  盐原利彦 ,  矶野裕一 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5733

CPC classification number: H01L41/09 ,  G01C19/5607 ,  G01F1/662

Abstract: 本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子（2）具有：振动片（3），其具有振动体（4）、对振动体（4）进行支承的第一支承部（51）、第二支承部（52）、及对第一支承部（51）、第二支承部（52）和振动体（4）进行连结的四个梁（61、62、63、64）；电极（710～740），其被设置在振动体（4）上；端子（712～742），其被设置在第一支承部（51）、第二支承部（52）上，并通过被设置在梁（61、62、63、64）上的配线（712～742）而与电极（710～740）电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽（512），所述多个槽（512）在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。

公开(公告)号：CN106482719A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610719483.X

申请日：2016-08-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  山口啓一 ,  中川啓史

IPC: G01C19/56

Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配

公开(公告)号：CN104702240A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201410727644.0

申请日：2014-12-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小仓诚一郎 ,  山口啓一 ,  西泽竜太 ,  菊池尊行

IPC: H03H9/15 ,  H03H9/02

CPC classification number: G01C19/5621 ,  G01C19/5607

Abstract: 本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。

公开(公告)号：CN103453897A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310219211.X

申请日：2013-06-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山口啓一 ,  大泽征司 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/56

CPC classification number: H01L41/053 ,  G01C19/5607

Abstract: 本发明提供一种振动片、以及使用了该振动片的电子装置、电子设备，所述振动片为，即使小型化也能够降低振动泄漏的振动片。本发明的振动片（10）的特征在于，具备：振动体（基部（12）、振动臂（16）、检测臂（20））；支承部（26），其通过板状的连结部（24）而对所述振动体进行支承，在所述连结部（24）的两个主面上设置有槽（第一槽（28）、第二槽（30）），配置于所述连结部（24）的一个主面上的第一槽（28）与配置于另一个主面上的第二槽（30）被配置于，在俯视观察时互不相同的位置上。