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公开(公告)号:CN101727006A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910179894.4
申请日:2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物,该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体,其包括:化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团;(B)第二聚苯并噁唑前体,其包括化学式3的重复单元;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN103186039B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201210287599.2
申请日:2012-08-13
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/28 , C08G73/22 , C08L61/14 , C08L79/04 , G03F7/023 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外,本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜;以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。在化学式1和2中,R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。
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公开(公告)号:CN103869612A
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:CN201310298057.X
申请日:2013-07-16
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/033 , G03F7/105
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片,该光敏树脂组合物包含(A)着色剂,包含由以下化学式1表示的花青染料;(B)丙烯酸类粘合剂树脂;(C)可光聚合单体;(D)光聚合引发剂和(E)溶剂。在以下化学式1中,各取代基与具体说明中所限定的相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102557945A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110374282.8
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0226 , C07C69/84 , G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物,所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN102540725A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110374325.2
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物,所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。在上述化学式1中,各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN101611031A
公开(公告)日:2009-12-23
申请号:CN200780051351.3
申请日:2007-12-27
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D407/04
CPC classification number: C07D307/89 , Y10T428/1005 , Y10T428/1023
Abstract: 本发明提供一种3,4-二羧基-1,2,3,4-四氢-6-叔丁基-1-萘琥珀酸二酐。四羧酸二酐由通式1表示,在说明书中进行了说明。本发明进一步提供一种包括使用所述四羧酸二酐制备的液晶取向剂。具体地,所述液晶取向剂包括用所述四羧酸二酐制备的聚酰亚胺和溶剂。本发明还提供一种使用所述液晶取向剂形成的液晶取向层。所述液晶取向层呈现出优异的光电性能和在适印性上良好的加工性。
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公开(公告)号:CN101198907A
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:CN200580050080.0
申请日:2005-11-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11
CPC classification number: G03F7/091 , G03F7/0387 , Y10S430/115
Abstract: 提供了一种用于平版印刷工艺的具有增透特性的硬掩膜组合物及其使用方法和用该方法制成的半导体装置。本发明提供的增透硬掩膜组合物含有:(a)含有第一聚合物和第二聚合物的聚合物混合物,该第一聚合物含有一种或多种如说明书中所述的单体单元,该第二聚合物含有芳基;(b)交联组分:和(c)酸催化剂。
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公开(公告)号:CN104166308A
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201310660941.3
申请日:2013-12-09
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本发明公开一种用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片,该用于彩色滤光片的光敏树脂组合物,包括(A)黄色或橙色染料;(B)由以下化学式1表示的花菁染料和金属络合物染料的染料组合;(C)丙烯酰类粘合剂树脂;(D)可光聚合单体;(E)光聚合引发剂;以及(F)溶剂,以及使用其的彩色滤光片。在以下化学式1中,每个取代基与具体实施方式中描述的相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN101978322B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN200880128156.0
申请日:2008-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0751 , Y10S430/107
Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物,其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元;光敏性重氮醌化合物;硅烷化合物;酚化合物;及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化,并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。
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