公开(公告)号：CN110312776B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201880011959.1

申请日：2018-01-29

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 森嘉男 ,  谷口惠 ,  向井贵俊 ,  土屋公亮

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

Abstract: [课题]提供消除激光硬标记周缘的隆起的性能优异的研磨用组合物。[解决方案]一种研磨用组合物，其包含磨粒、水溶性高分子、碱性化合物和水，前述水溶性高分子为包含源自苯乙烯或其衍生物的结构单元、和源自除此之外的单体的结构单元的共聚物。

公开(公告)号：CN104395039B

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201380032348.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 谷口惠 ,  森永均 ,  芹川雅之

IPC: B24B37/04 ,  C09K3/14 ,  C09G1/02

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明的研磨用组合物含有磨粒、表面吸附剂和水，在研磨由结晶性的金属化合物形成的研磨对象物的用途中使用。研磨用组合物与在研磨用组合物中不包含表面吸附剂的情况相比，研磨后的研磨对象物的表面缺陷减少。

公开(公告)号：CN104395039A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380032348.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 谷口惠 ,  森永均 ,  芹川雅之

IPC: B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明的研磨用组合物含有磨粒、表面吸附剂和水，在研磨由结晶性的金属化合物形成的研磨对象物的用途中使用。研磨用组合物与在研磨用组合物中不包含表面吸附剂的情况相比，研磨后的研磨对象物的表面缺陷减少。