膜状粘合剂及切割固晶片
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113493661A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110280524.0

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 本发明提供一种膜状粘合剂(13),其为固化性的膜状粘合剂(13),其中,对于作为多片膜状粘合剂(13)的层叠物且厚度为200μm的第一试验片,根据JIS K7128‑3,将夹住第一试验片进行固定的一对夹具之间的距离设为60mm,将撕裂速度设为200mm/分,并通过直角形撕裂法进行撕裂试验时,从第一试验片的撕裂强度达到最大时开始至第一试验片断裂为止的第一试验片在撕裂方向上的位移量为15mm以下。

    膜状粘合剂
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113462335A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110327726.6

    申请日:2021-03-26

    Abstract: 本发明提供一种膜状粘合剂(13),其含有主链具有环结构且玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的树脂(a)。所述膜状粘合剂(13)优选进一步含有由环氧树脂(b1)及热固化剂(b2)形成的环氧类热固性树脂(b),相对于所述膜状粘合剂100质量%,所述树脂(a)的含量优选为5~20质量%,所述环氧类热固性树脂(b)的含量优选为60~85质量%,环氧树脂(b1)的含量优选为30~60质量%。

    膜状粘合剂及半导体加工用片

    公开(公告)号:CN112930380A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202080005828.X

    申请日:2020-03-18

    Inventor: 田中佑耶

    Abstract: 本发明提供一种热固性的膜状粘合剂,所述膜状粘合剂在于40℃下保存7天之前且在热固化前、和在于40℃下保存7天之后且在热固化前,满足下述必要条件1)和2):1)所述膜状粘合剂的80℃下的储能模量G’为3×104Pa以下,2)在对10mm×10mm×20μm的所述膜状粘合剂于80℃下施加1秒钟1.96N的荷载而将其压接在具有线宽/间距(L/S)为100μm/100μm且厚度为10μm的铜布线的玻璃基板的所述铜布线侧而成的部分的中央部1.1mm×5mm的区域中,所述间距部分100面积%中的空气残留率为20面积%以下。

    支撑片、工件加工物的制造方法及支撑片的再生方法

    公开(公告)号:CN116814178A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202211522828.4

    申请日:2022-11-30

    Abstract: 本发明提供一种支撑片(1),其具备基材(11)与设置在基材(11)的一个面(11a)上的粘着剂层(12),粘着剂层(12)为能量射线固化性,通过粘着剂层(12)将支撑片(1)贴附于硅镜面晶圆的镜面时,粘着剂层(12)与硅镜面晶圆之间的粘着力(X0)为5000mN/25mm以下,以130℃对粘着剂层(12)进行加热、使其进行能量射线固化时,粘着剂层(12)的能量射线固化物与硅镜面晶圆之间的粘着力(X1)为400mN/25mm以下。

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