粘合片及半导体装置的制造方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116171220A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202180062506.3

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明提供粘合片及使用该粘合片的半导体装置的制造方法,所述粘合片具有包含粘合剂层(X1)和基材层(Y)的层叠结构,所述粘合剂层(X1)及所述基材层(Y)中的至少任一层是含有热膨胀性粒子的热膨胀性层,所述粘合剂层(X1)的面(SX1)的算术平均波纹度(Wa)为0.090μm以下,所述面(SX1)是与所述基材层(Y)相对的面的相反侧的一面。

    半导体装置的制造方法及层叠片

    公开(公告)号:CN110800092A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201780092553.6

    申请日:2017-08-04

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置的制造方法,其包括:电子零件载置工序,其中,在具备粘着片(12)与固化性的第一树脂组合物层(11)的层叠片(1)上载置电子零件(2);层叠工序,其中,层叠具备固化性的第二树脂组合物层(3)的密封片;固化工序,其中,得到具备第一树脂组合物层(11)固化而成的第一固化层(11’)、第二树脂组合物层(3)固化而成的第二固化层(3’)、及通过第一固化层(11’)及第二固化层(3’)而密封的上述电子零件(2),同时剥离粘着片(12)而成的密封体(4);孔形成工序,其中,形成孔(5);去胶渣工序,其中,对密封体(4)进行去胶渣处理;及电极形成工序,其中,形成电极(6)。该半导体装置的制造方法使半导体装置的高集成化及高功能化成为可能,同时也可适用于高效率且高成品率的方法。

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