公开(公告)号：CN106878892B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201610538874.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS麦克风及其制造方法。MEMS麦克风包括由柔性聚合物形成的基板。声音感测组件布置在基板的第一侧并且包括固定膜和用于感测声音的振动膜。信号处理器布置在基板的第二侧并且电连接至声音感测组件，同时与声音感测组件彼此间隔开。

公开(公告)号：CN108111958B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201710546460.8

申请日：2017-07-06

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R31/00

Abstract: 本公开涉及麦克风及其制造方法。本公开内容提供了一种麦克风，包括：基板，具有声孔；振动电极，布置在基板上；以及固定层，布置在振动电极上，其中，固定层的与基板的声孔相对应的中央部向上凸出形成。

公开(公告)号：CN105635921B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201510716158.3

申请日：2015-10-29

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本申请涉及一种麦克风，包括：具有一个或多个第一穿透孔的第一基底；布置在第一基底上并覆盖第一穿透孔的振动膜；以预定距离布置在振动膜之上并具有多个进气孔的固定膜；以及通过结合衬垫接合到固定膜上的相位延迟部件，所述相位延迟部件具有与一个或多个第一穿透孔连接的多个第二穿透孔，并在第二穿透孔中具有相位延迟材料。本申请还涉及制备包括相位延迟部件的麦克风的方法。

公开(公告)号：CN108063991A

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201710628583.6

申请日：2017-07-28

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R1/08 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R1/04 ,  H04R9/08 ,  H04R19/005 ,  H04R21/02 ,  H04R23/02 ,  H04R2201/003 ,  H04R1/08 ,  H04R31/00 ,  H04R2231/00

Abstract: 本申请涉及一种麦克风及其制造方法。本申请提供了一种麦克风，包括：基底，其具有声孔；振动膜，其形成在所述基底上；电磁感应层，其具有预定图案，且对应于所述声孔而形成于所述振动膜的下表面上；第一电极，其形成在振动膜的上表面上；第一固定层和第二固定层，其与振动膜间隔开；第二电极，其形成在所述第一固定层的下表面处，并具有多个通孔；第一线圈，其插置在第一固定层和第二固定层之间，其中，第一线圈形成为从第一线圈的中心向外延伸的螺旋形状；以及第二线圈，其结合到第二固定层的上表面，其中，第二线圈形成为从第二线圈的中心向外延伸的螺旋形状。

公开(公告)号：CN106878892A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201610538874.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R1/04 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003 ,  H04R2499/13 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS麦克风及其制造方法。MEMS麦克风包括由柔性聚合物形成的基板。声音感测组件布置在基板的第一侧并且包括固定膜和用于感测声音的振动膜。信号处理器布置在基板的第二侧并且电连接至声音感测组件，同时与声音感测组件彼此间隔开。

公开(公告)号：CN106211015A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510474037.2

申请日：2015-08-05

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善 ,  金炫秀

IPC: H04R31/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明涉及一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：包含穿孔的基板；振动膜，设置在基板上并且覆盖穿孔；固定电极，设置在振动膜以上并且与振动膜间隔开；固定板，设置在固定电极上；以及多个进气口，设置在固定电极和固定板中。振动膜包括定位在穿孔以上的多个狭缝，并且多个狭缝的全部面积是振动膜的全部面积的大约8％至大约19％。

公开(公告)号：CN105530578A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510624882.3

申请日：2015-09-25

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 一种传声器及制造传声器的方法，该制造传声器的方法包括制备衬底以及在衬底上形成氧化层图案并且在衬底的背面上形成氧化层。通过将导电离子注入到衬底中而在衬底上形成振动膜。通过去除氧化层图案在衬底和振动膜上相继形成牺牲层和固定电极。在固定电极上形成第一光刻胶层图案，并且通过使固定电极图案化而形成进气口。在氧化层的背面上形成第二光刻胶层图案，并且通过蚀刻氧化层以及衬底的背面来形成穿孔，振动膜的一部分通过该穿孔露出。在固定电极和振动膜之间形成空气层。

公开(公告)号：CN109485009B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN201711248955.9

申请日：2017-12-01

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本公开涉及麦克风及其制造方法。一种麦克风包括：振动电极，布置在具有声孔的基板的上部；固定电极，与振动电极的上部隔开基准距离并且在固定电极的上表面和下表面的每个上具有绝缘膜；以及压电电极，具有布置在从固定电极上部中心向外的径向方向上的多个杆并且根据输入电压通过在一个方向上弯曲固定电极来使振动电极和固定电极之间间隙保持一致。

公开(公告)号：CN108616787B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201710784653.7

申请日：2017-09-04

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R1/34

Abstract: 本发明提供具有多孔声音延迟滤波器的麦克风。麦克风包括具有第一声音通道、第二声音通道和第三声音通道的壳体。声音元件设置在壳体中的与第一声音通道对应的位置处，并且半导体芯片在壳体中与声音元件电连接。低频滞后滤波器设置在第二声音通道中并且延迟低频声源，并且高频滞后滤波器设置在第三声音通道中并且延迟高频声源。

公开(公告)号：CN106211015B

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201510474037.2

申请日：2015-08-05

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善 ,  金炫秀

IPC: H04R31/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明涉及一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：包含穿孔的基板；振动膜，设置在基板上并且覆盖穿孔；固定电极，设置在振动膜以上并且与振动膜间隔开；固定板，设置在固定电极上；以及多个进气口，设置在固定电极和固定板中。振动膜包括定位在穿孔以上的多个狭缝，并且多个狭缝的全部面积是振动膜的全部面积的大约8％至大约19％。