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公开(公告)号：CN113154050A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110545178.4
申请日：2021-05-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种低功耗的超洁净差动电磁阀。阀盖和阀座紧密装配合围成超洁净流室，超洁净流室有进入、排出流路；内设超洁净阀芯，超洁净流室顶部和底部外的阀盖外壁分别安装有外侧上层永磁体和外侧下层永磁体；外侧上层永磁体和外侧下层永磁体之间的阀盖外壁套装设有致动线圈，固定套外套装有阀芯位移传感器，阀芯位移传感器用于实时检测超洁净阀芯在超洁净流室中的轴向位置。本发明仅在维持开度时通电，解决了线圈驱动的超洁净电磁阀中电流较大，发热严重以致超洁净介质温升过高的问题，减小了线圈式超洁净电磁阀的功耗。
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公开(公告)号：CN113138539A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010055886.5
申请日：2020-01-17
Applicant: 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，相邻的抽排开口之间设置钉扎带；所述钉扎带具有内钉扎带和外钉扎带，分别限制弯液面向内后退和向外前进，可提高浸没流场的密封能力，改善浸液回收通道的振动特性，提高衬底曝光的质量。
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公开(公告)号：CN112343827A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011162487.5
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: F04D13/02 , F04D29/00 , F04D29/18 , F04D29/24 , H02K1/12 , H02K1/14 , H02K1/27 , H02K3/28 , H02N15/00
Abstract: 本发明涉及一种具有双磁阻结构的磁悬浮泵。本发明包括叶轮、转子架、转子永磁体、导磁体、附加永磁体、定子硅钢、悬浮绕组和驱动绕组。本发明设置双磁阻结构，增强转子悬浮的径向、轴向和倾斜刚度，降低叶轮和转子受扰动力时偏离悬浮位置并与泵壳发生碰撞的概率，提高磁悬浮泵的可靠性；叶轮可以采用轴流泵的水力结构形式，能够充分利用转子架的径向内侧空间设置叶轮，有利于使泵体的结构紧凑；叶轮可以采用离心泵形式的水力结构，以获得更大的扬程。
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公开(公告)号：CN111245318A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010059364.2
申请日：2020-01-18
Applicant: 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC: H02P21/00 , H02P21/13 , H02P6/182 , H02P25/022
Abstract: 本发明提出一种无轴承永磁同步电机径向力精确补偿解耦控制方法，包括位置控制器、力/电流转换、电流控制器、径向位移传感模块、转矩绕组磁链和转子角位置观测器、神经网络以及电压型逆变器。离线训练神经网络确定无轴承永磁同步电机系统力-位置模型；将径向位移传感测量信号与转子角位置观测信号反馈到神经网络输入端，得到的输出信号与位置控制器的输出信号叠加，实现对无轴承永磁同步电机径向力的精确补偿解耦控制。该方法解决了转子径向位置x，y间的非线性耦合问题，提高了转子悬浮的控制精度与响应速度等动态与静态系统性能，达到对无轴承永磁同步电机悬浮子系统高精度控制的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108398371A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810133773.5
申请日：2018-02-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明公开了一种血细胞剪应力流变观测装置及血细胞剪应力流变规律的分析和流变过程的再现方法，该装置包括注射泵、冷光源、平行平板腔、倒置生物显微镜、转接口、高速摄像机、储液池、温控器、计算机，所述注射泵的出口与平行平板腔的入口相连通，平行平板腔的出口与储液池相连通，冷光源布置在平行平板腔的上方，平行平板腔置于所述倒置生物显微镜的载物台上，倒置生物显微镜通过转接口安装在高速摄像机上，高速摄像机与计算机相连，储液池设置在温控器中。计算机对拍摄的图像通过血细胞形变参数与流动参数的提取算法、血细胞剪切流变规律的分析算法和血细胞2维图像的3维重建算法，实现血细胞剪应力流变规律的分析和流变过程的再现。
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公开(公告)号：CN102048536B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110024299.0
申请日：2011-01-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于头外空间磁场重构的脑磁源定位方法。该方法基于大脑内部神经元活动在头外空间产生相应磁场，通过磁场测量传感器测量头外部表层法向磁通密度分布；以外部表层法向磁通密度为边界条件重构出头外空间的三维脑磁场分布；联合头外部表层测量所得脑磁场法向磁通密度数据与重构所得头外空间的三维脑磁场分布的相对头皮的法向磁通密度数据，对脑内活动神经元，即脑磁源，的空间位置、姿态与强度参数进行逆向求解，实现脑磁源定位。与传统的脑磁源定位方法相比，该方法通过头外空间磁场重构使脑内神经元活动逆向求解时的样本点大大增加，并利用磁场重构对测量噪声的滤波作用使样本群的有效信息含量提高，使脑磁源定位具有更高精度。
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公开(公告)号：CN101324292B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810063194.4
申请日：2008-07-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种压力自动填充式低噪节流阀。一般节流阀工作时易在节流部位产生气穴，并附着在壁面上。本发明在壁面开设压力填充孔，通过单向阀与外界油源相连；气穴产生以后，其局部低压与外界油源之间形成填充动力，油液通过压力填充孔填充气穴空间，有效的消除了已有气穴，并改善局部低压，进而抑制了气穴再生。消除了气穴带来的噪声、振动和腐蚀等问题。本发明是全周开口、非全周开口节流阀结构，阀芯轴与阀芯节流部位之间为弧形、阶梯型过渡。利用气穴产生后，本身压力极低特点，与外界低压油源形成填充动力，自适应填充气穴空间，改善节流系统噪声振动及流量控制特性。填充液油流动方向单一，低压油源压力控制精度高，保证系统原有流动状态。
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公开(公告)号：CN101403862A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810121872.8
申请日：2008-10-21
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机的浸没液体回收减振控制装置。浸没液体回收减振控制装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置，由上端盖、内腔体和下端盖组成。采用双层回收、外部施加单层气体密封，并在内外层回收之间设置隔离槽，也使得液体和气体的大部分各自由内层和外层实施回收，实现气液初步分离。在气液进入回收腔后实施气液二次分离，气体和液体分别通过内外气体回收腔以及液体回收腔实施回收，由此缩短气液二相流的存在周期，降低了二相流动与相变过程导致的气泡、振动及对曝光流场的冲击。
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公开(公告)号：CN101329516A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810063271.6
申请日：2008-07-29
Applicant: 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机浸没控制装置。由注液腔和回收腔向外依次设置有环状的流场缓冲腔、密封结构和干燥腔。流场缓冲腔实时对曝光流场进行补偿，减少液体回流发生几率与强度；密封结构采用亲憎水表面特性处理与张力槽结构设计相结合方式，在垂直衬底方向上张力槽截面为向外倾斜的三角形，衬底运动牵拉的液体将在张力槽内形成回流，抑制液体泄漏；干燥腔内填充高吸水性物质、连通负压，实时排走可能存在的液滴残余。同时，液体输送方式采用正压供液、回收端自由流动，避免注液与回收压力不协调导致的流场波动。
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