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公开(公告)号：CN104469640B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410444586.0
申请日：2014-09-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151
Abstract: 本发明提供一种声响转换器及麦克风，通过维持频率特性，且抑制施加了较大的空气压时的振动电极板(振动膜)的变形，避免应力集中或振动电极板及背板的破损。在具有上下贯通的空洞(35)的基板(32)上配置被开口(33c)分割的第一振动膜(33a)和第二振动膜(33b)。在基板(32)的上面，以覆盖振动膜(33a、33b)的方式设置背板(38)，在其下面与振动膜(33a、33b)相对而设置第一固定电极板(39a)和第二固定电极板(39b)。在背板(38)及固定电极板(29a、29b)上设置多个声孔(44)。在设于振动膜(33a、33b)之间的开口(33c)内收纳泄漏压调整部(37)。泄漏压调整部(37)由从背板(38)的下面向下方延伸的支承部(48)支承。
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公开(公告)号：CN104350767A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201380026165.X
申请日：2013-05-22
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H04R23/00 , G01H11/00 , G01R27/2605 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R1/28 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003
Abstract: 一种静电容量型传感器，在硅基板(12)的上方配置隔膜(13)。在基板(12)的上面设置背板(18)，以覆盖隔膜(13)，在背板(18)的下面配置固定电极板(19)。隔膜(13)分割成第一及第二隔膜(13a、13b)。同样地，固定电极板(19)也分割成第一及第二固定电极板(19a、19b)。由第二隔膜(13b)和第二固定电极板(19b)构成的音响传感部中，在背板(18)上开口有孔径较小的声孔(24b)，由第一隔膜(13a)和第一固定电极板(19a)构成的音响传感部中，在背板(18)上开口有孔径较大的声孔(24a)。
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公开(公告)号：CN102918874A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201180026170.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 欧姆龙株式会社 , 意法半导体股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R3/00 , H04R19/016
Abstract: 本发明的音响传感器(11)在半导体基板的上表面形成有振动膜(22)及固定膜(23)，根据振动膜(22)中的振动电极(22a)和固定膜(23)中的固定电极(23a)间的静电电容的变化，来检测声波。为了使声波从外部到达振动膜(22)，在固定膜(23)上形成有多个音孔部(32)，固定电极(23a)是以缘部(40)的边界不和音孔部(32)相交的方式形成的。
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公开(公告)号：CN108174333B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201710970853.1
申请日：2017-10-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/00
Abstract: 本发明涉及静电容量型换能器系统、静电容量型换能器及声音传感器，提供能够通过更可靠或更容易的构成而提高静电容量型换能器系统的SN比的技术。一种静电容量型换能器系统，具有固定电极膜和基板这两个固定电极、和以在其与固定电极膜及基板之间经由空隙而与两者对置的方式配设的振动电极膜，由固定电极膜和振动电极膜构成第一电容器，且由基板和振动电极膜构成第二电容器，该静电容量型换能器系统具备将振动电极膜的变形转换成第一电容器和第二电容器的静电容量的变化的声音传感器、对向第一电容器及第二电容器的供给电压和/或来自第一电容器和第二电容器各自的信号进行处理的ASIC，将来自第一电容器和第二电容器的信号以相互抵消的方式进行加减。
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公开(公告)号：CN108235202B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201710998297.9
申请日：2017-10-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种技术，在过大的压力作用于声学传感器的情况下，能够抑制框体内压力的上升，抑制上升后的压力导致的振动电极膜的过度变形。本发明的声学传感器，其具备：基板(23)；背板(27)，其具有可使空气流通的声孔(27a)；振动电极膜(25)，其以与背板(27)相对的方式配置；封装件，其收纳所述基板(23)、背板(27)及振动电极膜(25)，并且具有可流入空气的压力孔，其中，还具备突出部(27c)，在振动电极膜(25)变形并接近背板(27)时，突出部(27c)阻断在振动电极膜(25)与背板(27)之间的间隙及声孔(27a)通过的空气的流路(阻碍空气的流动)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105472515B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201510557903.4
申请日：2015-09-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种声换能器及麦克风，该声换能器的狭缝的穿透阻抗较之于现有技术更大，在振动电极板产生翘曲等的情况下，狭缝的穿透阻抗的下降率较之于现有技术更低。该声换能器具有固定电极板和振动电极板。该振动电极板与固定电极隔着空隙相向，具有用于使声音通过的狭缝(17)。该振动电极板具有阻抗增大部(20)，该阻抗增大部(20)以当从狭缝(17)的宽度方向观察时彼此重合的方式具有一对以上的高阻抗表面，该高阻抗表面是构成狭缝(17)的宽度方向的侧表面的表面，并且该高阻抗表面的厚度超过振动电极板(17)的中央部分的厚度。
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公开(公告)号：CN108235202A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201710998297.9
申请日：2017-10-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种技术，在过大的压力作用于声学传感器的情况下，能够抑制框体内压力的上升，抑制上升后的压力导致的振动电极膜的过度变形。本发明的声学传感器，其具备：基板(23)；背板(27)，其具有可使空气流通的声孔(27a)；振动电极膜(25)，其以与背板(27)相对的方式配置；封装件，其收纳所述基板(23)、背板(27)及振动电极膜(25)，并且具有可流入空气的压力孔，其中，还具备突出部(27c)，在振动电极膜(25)变形并接近背板(27)时，突出部(27c)阻断在振动电极膜(25)与背板(27)之间的间隙及声孔(27a)通过的空气的流路(阻碍空气的流动)。
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公开(公告)号：CN108174333A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201710970853.1
申请日：2017-10-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/00
Abstract: 本发明涉及静电容量型换能器系统、静电容量型换能器及声音传感器，提供能够通过更可靠或更容易的构成而提高静电容量型换能器系统的SN比的技术。一种静电容量型换能器系统，具有固定电极膜和基板这两个固定电极、和以在其与固定电极膜及基板之间经由空隙而与两者对置的方式配设的振动电极膜，由固定电极膜和振动电极膜构成第一电容器，且由基板和振动电极膜构成第二电容器，该静电容量型换能器系统具备将振动电极膜的变形转换成第一电容器和第二电容器的静电容量的变化的声音传感器、对向第一电容器及第二电容器的供给电压和/或来自第一电容器和第二电容器各自的信号进行处理的ASIC，将来自第一电容器和第二电容器的信号以相互抵消的方式进行加减。
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公开(公告)号：CN105472515A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510557903.4
申请日：2015-09-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/013 , H04R19/016 , H04R2201/003
Abstract: 本发明提供一种声换能器及麦克风，该声换能器的狭缝的穿透阻抗较之于现有技术更大，在振动电极板产生翘曲等的情况下，狭缝的穿透阻抗的下降率较之于现有技术更低。该声换能器具有固定电极板和振动电极板。该振动电极板与固定电极隔着空隙相向，具有用于使声音通过的狭缝(17)。该振动电极板具有阻抗增大部(20)，该阻抗增大部(20)以当从狭缝(17)的宽度方向观察时彼此重合的方式具有一对以上的高阻抗表面，该高阻抗表面是构成狭缝(17)的宽度方向的侧表面的表面，并且该高阻抗表面的厚度超过振动电极板(17)的中央部分的厚度。
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公开(公告)号：CN102918874B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180026170.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 欧姆龙株式会社 , 意法半导体股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R3/00 , H04R19/016
Abstract: 本发明的音响传感器(11)在半导体基板的上表面形成有振动膜(22)及固定膜(23)，根据振动膜(22)中的振动电极(22a)和固定膜(23)中的固定电极(23a)间的静电电容的变化，来检测声波。为了使声波从外部到达振动膜(22)，在固定膜(23)上形成有多个音孔部(32)，固定电极(23a)是以缘部(40)的边界不和音孔部(32)相交的方式形成的。
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