检查装置及检查方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1834607A

    公开(公告)日:2006-09-20

    申请号:CN200610057425.1

    申请日:2006-03-15

    CPC classification number: G06K9/6269

    Abstract: 检查装置及检查方法。本发明的课题是提供可以对应于不良出现的状况变化,进行适当的检查的检查方法。作为解决手段,本发明的检查装置用于执行异常判断,即根据基于从良品中得到的正常数据的模型进行异常判断,具有基于参量判别模型进行良否判断的功能、以及基于非参量判别模型进行良否判断的功能。在可取得的样本数据不够、或者特征空间中的良品的分布形状不稳定、从而正常区域的形状的估计精度不够的阶段中,执行基于双方的判别模型的判断,根据两者的判断结果来进行最终的良否判断。在可取得的样本数据足够、良品的分布或正常区域的形状稳定的状态下,仅基于参量判别模型的判断来执行判断。

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