搬送装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105849019A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201580003389.8

    申请日:2015-05-22

    Abstract: 本发明为从卷出滚轮(2)将薄形被加工物(W)送出且于搬送路径(3)上搬送之搬送装置(1),包括:第1可动保持构件(5),以可装卸的方式将所述薄形被加工物的前端侧的两侧端部予以保持且将其于搬送路径上搬送;固定保持构件(4),以可装卸的方式将所述薄形被加工物的所述卷出滚轮侧的两侧端部予以保持;切断装置(6),在所述第1可动保持构件与所述固定保持构件之间将所述薄形被加工物予以切断;第2可动保持构件(7),在所述薄形被加工物的前端侧,以可装卸的方式将比所述第1可动保持构件所保持的所述两侧端部更靠近前端侧的两侧端部予以保持且再将其于所述搬送路径上搬送;第1位置传感器(19),被设置在所述卷出滚轮与所述第1可动保持构件之间;以及第1补正机构,根据所述第1位置传感器的检测结果,将所述卷出滚轮的与卷出方向呈正交的方向的位置予以补正。

    搬运装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104822613A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201380063583.6

    申请日:2013-02-26

    Abstract: 通过防止基板前端的挠曲,从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备:浮起部,通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起;搬运部,具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起,向上述第一方向驱动上述对象物;吸引部,对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触;以及变形机构,包含于上述浮起部或上述搬运部,使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

    浮起运送装置
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101643152B

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN200910164107.9

    申请日:2009-08-04

    CPC classification number: H01L21/67784 B65G49/065 B65G2249/02

    Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置(1),在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下,能够高效地确保基板(W)的平坦度,能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中,将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上,并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有:在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39);设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此,浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。

    无尘输送系统
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101796625A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200880105255.7

    申请日:2008-08-22

    CPC classification number: H01L21/67706 H01L21/6776

    Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备:外壳,构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口,设置于上述地板面上,若封闭上述第一开口和上述第二开口,则在内部包围密闭空间;输送装置,构成为设置于上述外壳内,并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物;以及送风装置,设置于上述外壳内,净化上述密闭空间内的空气,并供给被净化了的空气。

    预浸片材层叠装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106029318B

    公开(公告)日:2017-12-26

    申请号:CN201580004594.6

    申请日:2015-04-01

    CPC classification number: B29C70/38

    Abstract: 本发明提供一种预浸片材层叠装置(1),用以制造预浸片材层叠体,该预浸片材层叠体为层叠有多片预浸片材,并且以使一层的预浸片材的纤维方向与其他层的预浸片材不同的方式层叠者。该预浸片材层叠装置(1)具备:使预浸胚材(P1)行进的主运送路径(3);将预浸胚材以设定的角度朝宽度方向切断而形成预浸裁切片材(P2、P4)的预浸裁切片材形成部(5、14);将所形成的预浸裁切片材移送至在主运送路径上行进的预浸胚材上,并且以使其纤维方向成为设定的方向的方式予以载置于预浸胚材上的移载手(9、18);以及使预浸胚材与载置于此预浸胚材的预浸裁切片材熔接的熔接部(13、21)。

    预浸片材层叠装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106029318A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201580004594.6

    申请日:2015-04-01

    CPC classification number: B29C70/38

    Abstract: 本发明提供一种预浸片材层叠装置(1),用以制造预浸片材层叠体,该预浸片材层叠体为层叠有多片预浸片材,并且以使一层的预浸片材的纤维方向与其他层的预浸片材不同的方式层叠者。该预浸片材层叠装置(1)具备:使预浸胚材(P1)行进的主运送路径(3);将预浸胚材以设定的角度朝宽度方向切断而形成预浸裁切片材(P2、P4)的预浸裁切片材形成部(5、14);将所形成的预浸裁切片材移送至在主运送路径上行进的预浸胚材上,并且以使其纤维方向成为设定的方向的方式予以载置于预浸胚材上的移载手(9、18);以及使预浸胚材与载置于此预浸胚材的预浸裁切片材熔接的熔接部(13、21)。

    输送装置
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104245547B

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201380021075.1

    申请日:2013-02-26

    CPC classification number: B65G49/065 B65G2249/045 H01L21/67784

    Abstract: 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置,具备:悬浮部,其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮;输送部,其具备带以及多个辊中的至少一方,该带是在上述第一方向上延伸的环形带,并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起,该多个辊在上述第一方向上能够旋转,并在上述第一方向上排列,上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动而构成;罩,其覆盖上述输送部、或者与上述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述对象物的下表面平行的面;以及吸引部,其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。

    行进车系统
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102556664B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201210048074.3

    申请日:2010-03-29

    Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

    悬浮装置以及悬浮输送装置

    公开(公告)号:CN101815662B

    公开(公告)日:2013-02-20

    申请号:CN200880109907.4

    申请日:2008-09-11

    CPC classification number: H01L21/67784 B65G49/065 B65G2249/02

    Abstract: 本发明的用于利用流体使对象物悬浮地进行输送的悬浮输送装置,具备:分别具备上部体和腿部并沿第一方向以及第二方向排列的多个悬浮装置,该上部体具备上面并具备喷出上述流体在上述对象物和上述上面之间产生压力的喷出孔,该腿部为供给上述流体而与上述喷出孔连通且与上述上部体的下部连接并且为确保容许上述喷出来的流体逃散的通道而具有比上述上部体狭窄的外形;将上述流体向上述腿部供给的流体供给装置;以及用于输送对象物的输送装置。

    行进车系统
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102556664A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201210048074.3

    申请日:2010-03-29

    Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

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