公开(公告)号：CN103443748B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201180069501.X

申请日：2011-11-11

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 上田拓明 ,  藤本贵久 ,  近藤晃三 ,  山本宪治

IPC: G06F3/041 ,  B32B7/02 ,  B32B9/00 ,  G06F3/044

CPC classification number: G02B1/10 ,  C23C14/08 ,  G02B1/116 ,  G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103 ,  H05K1/0274 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/4688

Abstract: 本发明的带有透明电极的基板（100）在透明膜基板（1）的至少一面依次具有：以SiOx为主要成分的第一电介质层（21）、以金属的氧化物为主要成分的第二电介质层（22）、以SiOy为主要成分的第三电介质层（23）、及透明电极层（4）。透明电极层（4）被图案化为电极层形成部（4a）与电极层非形成部（4b）。透明电极层（4）是以铟-锡复合氧化物为主要成分且膜厚为20nm～35nm的层。上述第一电介质层的折射率n1、上述第二电介质层的折射率n2、及上述第三电介质层的折射率n3满足n3＜n1＜n2的关系。第一电介质层（21）、第二电介质层（22）及第三电介质层（23）具有规定的膜厚。

公开(公告)号：CN103443748A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201180069501.X

申请日：2011-11-11

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 上田拓明 ,  藤本贵久 ,  近藤晃三 ,  山本宪治

IPC: G06F3/041 ,  B32B7/02 ,  B32B9/00 ,  G06F3/044

CPC classification number: G02B1/10 ,  C23C14/08 ,  G02B1/116 ,  G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103 ,  H05K1/0274 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/4688

Abstract: 本发明的带有透明电极的基板（100）在透明膜基板（1）的至少一面依次具有：以SiOx为主要成分的第一电介质层（21）、以金属的氧化物为主要成分的第二电介质层（22）、以SiOy为主要成分的第三电介质层（23）、及透明电极层（4）。透明电极层（4）被图案化为电极层形成部（4a）与电极层非形成部（4b）。透明电极层（4）是以铟-锡复合氧化物为主要成分且膜厚为20nm～35nm的层。上述第一电介质层的折射率n1、上述第二电介质层的折射率n2、及上述第三电介质层的折射率n3满足n3＜n1＜n2的关系。第一电介质层（21）、第二电介质层（22）及第三电介质层（23）具有规定的膜厚。