公开(公告)号：CN112403247B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202010847273.5

申请日：2020-08-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 关根贵史 ,  稻田高典 ,  宫崎一知 ,  花房直也

IPC: B01D53/79

Abstract: 一种废气处理装置，用于通过使处理气体与液体接触而将处理气体无害化，该废气处理装置具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入口及导出口，该吸入口吸入所述处理气体，该导出口供所述处理气体流出；液槽，该液槽接受所述吸入壳体的所述导出口侧的部分，并储存液体；以及一个或多个喷雾喷嘴，该一个或多个喷雾喷嘴配置于所述液槽内，所述吸入壳体的所述导出口配置为，与所述液槽内的液体的液面相比位于上方，所述一个或多个喷雾喷嘴的喷雾构成为，从周围对所述吸入壳体的所述导出口的周围的部分呈雾状地喷出液体。

公开(公告)号：CN116328504A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202211650442.1

申请日：2022-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村谕 ,  宫崎一知 ,  江田健

IPC: B01D53/18 ,  F23G7/06 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455

Abstract: 提供可用比以往少的湿式处理装置处理废气的无害化装置。无害化装置具备：前段湿式处理装置(5)；燃烧式处理装置(6)；与成膜装置(1)的工艺腔室(2A～2D)连接的气体导入线路(7A～7D)；与气体导入线路分别连接的第一流路切换装置(8A～8D)；从第一流路切换装置延伸至前段湿式处理装置的第一气体输送线路(9A～9D)；从第一流路切换装置延伸至燃烧式处理装置的第二气体输送线路(10A～10D)；以及动作控制部(15)，其控制第一流路切换装置的动作，向前段湿式处理装置输送工艺气体，并向燃烧式处理装置输送清洁气体。前段湿式处理装置的数量比多个工艺腔室少。

公开(公告)号：CN109386833A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810871736.4

申请日：2018-08-02

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫崎一知 ,  驹井哲夫 ,  柏木诚司

IPC: F23G7/06 ,  F23L7/00

Abstract: 本发明提供一种废气处理装置及废气处理方法，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室(1)构成为圆筒状的燃烧室(1)，燃烧室(1)具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)，处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。

公开(公告)号：CN114645834A

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202111436606.6

申请日：2021-11-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 关根贵史 ,  宫崎一知

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/06 ,  F04B39/12 ,  B01D47/06 ,  B01D53/68 ,  B01D53/70 ,  B01D53/78

Abstract: 本发明提供一种能够防止因温度降低而导致从处理气体产生生成物的处理气体吸入构造及废气处理装置。处理气体吸入构造(100)具备：双层管构造体(101)；以及对双层管构造体(101)进行加热的加热装置(102)。双层管构造体(101)具备：供处理气体流动的处理气体流路部(105)；以及配置于处理气体流路部(105)的外侧的分隔部(106)。

公开(公告)号：CN302372935S

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201230447293.X

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 柏木诚司 ,  池田宏 ,  宫崎一知

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为排气处理装置用刮刀。2.本外观设计产品的用途是：用于刮落对从半导体、液晶、太阳能电池等的制造工序及其他工序排出的排气进行分解处理时附着并堆积在处理装置内壁面上的氧化硅及其他固态物。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。