公开(公告)号：CN107680916B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201710502806.4

申请日：2017-06-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山川纯逸

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 提供一种减少对衬底表面的抗蚀图案和/或布线等造成的影响且对衬底进行清洗的清洗装置、具有该清洗装置的镀覆装置及清洗方法。清洗装置具有：被处理物的入口；上述被处理物的出口；第1搬送路径，搬送从入口投入的被处理物；第2搬送路径，向与在第1搬送路径中搬送被处理物的方向相反的方向搬送被处理物，与第1搬送路径及上述出口相连；清洗单元，配置在第1搬送路径上，以非接触式对被处理物进行清洗；和干燥单元，配置在第1搬送路径上，以非接触式对被处理物进行干燥。第1搬送路径和第2搬送路径沿上下方向排列地配置。第2搬送路径位于第1搬送路径的上方，在终点与上述出口相连。第2搬送路径作为暂时地保管被处理物的储料器而发挥功能。

公开(公告)号：CN108666252A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201710725706.8

申请日：2017-08-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山川纯逸 ,  对马拓也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  C25D17/00

CPC classification number: H01L21/681 ,  C25D17/00 ,  C25D17/001 ,  C25D17/06 ,  C25D21/12 ,  G01B11/002 ,  H01L21/67763 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/68

Abstract: 一种基板处理装置，用于对基板进行处理，具备：图像传感器，在基板被搬运到规定位置时，该图像传感器检测所述基板的至少一个对角线上的两个角部的位置；照明装置，该照明装置能够配置为：相对于处在所述规定位置的所述基板在所述图像传感器的相反侧，对所述基板的所述两个角部进行照射；控制装置，该控制装置基于由所述图像传感器检测出的所述两个角部的位置来判定所述基板的位置。