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公开(公告)号：CN116260418A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211585923.9
申请日：2022-12-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 格雷格·戴尔 , 陆振华 , 道格拉斯·雅乔夫斯基 , 布莱恩特·加西亚
Abstract: 声波谐振器具有压电板，该压电板具有第一表面和第二表面，第二表面面对基板，并且压电板的振膜跨越空腔。导体图案形成在第一表面和第二表面中的至少一个表面上并且具有叉指换能器(IDT)，该叉指换能器在压电板的振膜部分上具有交错指。交错IDT指的间距或交错IDT指的标记中的至少一个在IDT的区域上变化，以补偿压电板的振膜部分由于工艺引起的变形。
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