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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105612597B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201480052535.1
申请日：2014-09-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/32862 , H01J2237/184 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003
Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。
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公开(公告)号：CN112563102B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202011012007.7
申请日：2020-09-23
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 岩堀敏行
Abstract: 提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48)。基础部(41)固定于由载台驱动机构(13)旋转驱动的载台(12)。旋转引导部(43)引导基础部(41)和试样搭载部(42)的同步旋转。冷却载台(46)对试样(S)进行冷却。连接部件(47)与冷却载台(46)连接。第1支承部支承由载台(12)旋转驱动的基础部(41)。固定引导部(48)经由第1支承部而与基础部(41)连接，并且，独立于基础部(41)而引导连接部件(47)的固定。
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公开(公告)号：CN107204268B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201710160053.3
申请日：2017-03-17
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。
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公开(公告)号：CN106104250A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580014843.X
申请日：2015-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 关于实施冷冻处理等的冷却试样，防止结露与霜状物质的产生，搭载于用于保存、以及在带电粒子线装置中观察的试样支架。在本发明中，具备保存试样的主体部、载置于上述主体部上的盖部，上述主体部通过分隔部件分为第一空间、第二空间，在上述第一空间中收纳冷却上述试样的冷却介质，在上述第二空间中配置加热被收纳于该第一空间中的冷却介质的加热部，上述盖部形成将由该冷却介质的加热而产生的气体向外部排出的排出口。
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公开(公告)号：CN105612597A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480052535.1
申请日：2014-09-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/32862 , H01J2237/184 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003
Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。
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