公开(公告)号：CN102308187A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200980155991.8

申请日：2009-11-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 牧野内进 ,  渡边昭宏 ,  今井亨

IPC: G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38 ,  G01D5/34746

Abstract: 编码器，其具备：光调制部，用以调制从光源射出的光的至少一部分；移动构件，具有光中的多个光线射入的入射面，可于至少一方向相对移动；以及至少两个受光部，分别接受在移动构件上的至少两个区域产生的干涉条纹；以随着光调制部进行的调制使至少两个干涉条纹在移动构件上彼此移动于相反方向的方式，使光射入移动构件。

公开(公告)号：CN102197286A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980141928.9

申请日：2009-10-21

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 牧野内进 ,  渡边昭宏

IPC: G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38 ,  G01D5/34746

Abstract: 编码器，从光源部(11)射出调制光，使从该调制光分离的第1光(L1)及第2光(L2)在移动光栅(14)干涉。编码器中，从光源部(11)射出的光被电气调制，第1光(L1)的光路长与第2光(L2)的光路长相异。

公开(公告)号：CN101535777A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200780042084.3

申请日：2007-11-08

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 牧野内进 ,  今井亨 ,  渡边昭宏

IPC: G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 本发明是一种编码器，对于来自受光元件(26)的光电转换信号(Ia、Ib、Ic、Id)进行运算，结果计算出2个信号(IA、IB)。然后，由信号(IA、IB)生成信号(IAB)，且从编码器(10)输出此信号(IAB)。如式(7)所示，此信号(IAB)中依赖于时间t的项为4d·sin(ωt)。另一方面，如式(5)及(6)所示，信号(IA、IB)中依赖于时间t的项为2d·sin(ωt)，因此，信号(IAB)相对于信号(IA、IB)的变化等同于实质上将调制度扩大为2倍。所以，当根据信号(IAB)检测移动标度(24)的位置时，能与将调制度扩大为2倍时同样地以高精度检测出移动标度(24)的位置。