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公开(公告)号：CN110892182A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880047616.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。
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公开(公告)号：CN111819383A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201880091025.3
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供能够确保流体的流量并且能够精密地调整流量的阀装置。该阀装置具有：主致动器(60)，其承受所供给的驱动流体的压力，并且使操作构件(40)向开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其配置为主致动器(60)产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器(100)，用于对定位于开位置的操作构件的位置进行调整；以及压力调节器(200)，其设于驱动流体向主致动器(60)的供给路径，对所供给的所述驱动流体的压力进行调压，以便抑制向主致动器(60)供给的驱动流体的压力的变动。
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公开(公告)号：CN111133239A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062388.4
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。
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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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