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公开(公告)号：CN111033104B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN113728187A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080028985.2
申请日：2020-02-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。
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公开(公告)号：CN110832236B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880044044.0
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16F15/02 , F16F15/073 , H02N2/18
Abstract: 提供一种能够搭载各种电子设备并且解决了布线、电池更换的问题的具有发电功能的气动式阀装置。具有：致动器(7)，其具有壳体部(10、11)和可动部(13)，该可动部(13)收纳在利用驱动流体驱动而使阀芯沿着关闭方向或打开方向移动的壳体部(10、11)；弹簧构件(30)，其对可动部(13)向抵抗驱动流体的驱动力的方向施力；以及发电减振单元(100)，其包括利用了压电元件的压电效应的、将由致动器(7)的动作所产生的振动系统的振动转换为电力的发电功能和抑制施加于装置的振动的减振功能。
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公开(公告)号：CN111295544B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN113227623A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086426.4
申请日：2019-12-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 一种流体控制装置，其具有：上游侧接头块及下游侧接头块，其划定流体流路，并且在底面侧具有卡合部；支承构件，其具有能够供上游侧接头块及下游侧接头块的卡合部卡合的引导部；以及流体设备，其借助上游侧接头块及下游侧接头块而支承于支承构件，在该流体控制装置中，利用抵抗弯曲力的反作用力，将所述上游侧接头块及下游侧接头块固定于所述引导部，该弯曲力是由于所述紧固螺栓对彼此连结的所述上游侧接头块及下游侧接头块与所述流体设备的紧固力而产生的，在所述接头块的长度方向上，所述卡合部的长度形成得比所述接头块的长度短。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112997031A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201980071903.X
申请日：2019-10-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法，该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化，也削减了组装工时。流体控制装置具有：接头块(20)，其划定在上表面开口的流体流路，并且在底面侧具有卡合部；支承构件(50)，其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面；以及流体设备，其固定于接头块(20)的上表面，在该流体控制装置中，在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500)，在接头块的底面设有凹部，该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合，由此，对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。
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公开(公告)号：CN111433496A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201880077575.X
申请日：2018-11-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够实现小型化、低成本化并且具有泄放功能的阀装置。阀体(20)划定在该阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件(2)的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部、通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的迂回流路(50a)、以及经由收纳凹部(22)而使迂回流路(50a)和次级侧流路(24)连通的泄放孔(50p)。
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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
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公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
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