-
公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
-
公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
-
公开(公告)号：CN101611254A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200880004114.6
申请日：2008-01-30
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17
CPC classification number: F16K31/1225
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，使小流量的微调变得容易，用户方能够设定所希望的小流量。对向上移动时的小流量活塞停止位置进行设定的小流量活塞停止位置设定机构(12)具有：小流量调整螺钉(31)，其以与阀杆(5)上端面之间存在间隙的方式螺合在设置于壳体(4)顶壁(15)上的贯通螺纹孔(15a)中；形成在小流量调整螺钉(31)的前端部的锥部(32)；止挡活塞(33)，该止挡活塞的上表面具有与该锥部(32)以规定间隙相对的锥部(34)、且其下表面(33a)对小流量活塞(8)的上方停止位置进行限制；夹置于小流量调整螺钉(31)的锥部(32)和止挡活塞(33)的锥部(34)之间且在他们之间传递力的多个力传递用球体(35)。
-
公开(公告)号：CN111278605B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201880070256.6
申请日：2018-10-23
Applicant: 株式会社富士金 , 笹田磁气计测研究所株式会社
IPC: B25B23/142 , G01L5/24
Abstract: 提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有：手柄(10)，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12)；以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30)，其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33)，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为，形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。
-
公开(公告)号：CN110352340B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880015080.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信，流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构，服务器(72)具有：判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721)；收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724)；存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725)；参照信息存储部(725)，并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726)；以及通过对比提取到的信息，对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
-
公开(公告)号：CN111936775A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980023936.7
申请日：2019-09-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供在隔膜阀的组装时能够调整Cv值的隔膜阀。其具有阀体(2)、隔膜(2f)、致动器(4)、阀盖(3)、阀杆(8)和隔膜按压部(7)，阀盖(3)具备刻设有与阀杆(8)同轴的内螺纹(3d)的贯通孔(3e)，在外表面刻设有外螺纹(5a)的筒状体(5)与内螺纹(3d)螺合而被螺入贯通孔(3e)，阀杆(8)插入在筒状体(5)中，筒状体(5)的隔膜(2f)侧的端面与贯通孔(5b)的隔膜(2f)侧的开口面相比向隔膜(2f)侧突出，隔膜按压部(7)的阀杆(8)侧的端面与筒状体(5)的隔膜(2f)侧端面抵接，通过外螺纹(5a)与内螺纹(3d)的螺合来调节抵接的面在阀杆轴向上的位置。
-
公开(公告)号：CN109312874B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
-
公开(公告)号：CN111201396A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880066457.9
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器(52)的内侧的与阀杆(53)对置的面，检测与磁铁(M1)之间的距离变化。进而，异常判定单元将由磁性传感器(M2)检测出的异常诊断时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化与预先测量出的正常时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化进行对比，来判定异常的有无。
-
公开(公告)号：CN109563942B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
32
records
(took 0.023 seconds)
