弹性表面波装置及其制造方法和用该装置的电子部件

    公开(公告)号:CN1461523A

    公开(公告)日:2003-12-10

    申请号:CN02801304.2

    申请日:2002-04-17

    CPC classification number: H03H9/25 H03H3/08 H03H9/02921

    Abstract: 通过设置具有压电性的基片、在该基片上构成IDT的梳形电极、接近由该IDT产生的表面波的传送方向配置的反射器电极、和在上述梳形电极和反射器电极的周围宽度随着地点而不同的短路辅助电极的构成,可以使在制造弹性表面波装置时在压电性基片的热处理工序等发生的电荷在遍及弹性表面波装置的整个电极表面变成均匀分布,即使在分离成单片弹性表面波装置后也能防止在因基板的热电性引起的电荷积累后产生放电而使电极破损或电特性老化。

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