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公开(公告)号：CN1675268A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03819683.2
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F36/20
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)（如图）表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。
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公开(公告)号：CN101646696A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200880010074.6
申请日：2008-02-20
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C07C57/32 , C07C69/65 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D307/20 , C08F14/18 , C08F36/20 , C08F214/18 , Y10S430/146 , C08F2/00
Abstract: 本发明提供新的含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法。式：CF 2 ＝CFCF 2 C(X)(C(O)OZ)(CH 2 ) n CR＝CHR表示的化合物(其中，X为氢原子、氰基或式-C(O)OZ表示的基团，Z为氢原子或碳数1～20的1价有机基团，n为0、1或2，R为氢原子或碳数1～20的1价有机基团、其制造方法以及使该化合物聚合而得的含氟聚合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100384799C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200480031538.3
申请日：2004-10-29
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 提供了官能团浓度高、可得到充分的官能团特性的，在宽波长范围具有高透明性的含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法。提供了下式(1)所示的含氟二烯。CF2＝CFCH2CH(C(R1)(R2)(OH))CH2CH＝CH2(1)，式中，R1和R2分别独立地表示氟原子或碳原子数小于等于5的氟烷基。
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公开(公告)号：CN1896039A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610100399.6
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了含氟化合物，其特征在于，由式(3)表示，CF2＝CFCF2C(CF3)(OR9)－CH2－CR10＝CH2(3)式中，R9表示氢原子、可具有醚系氧原子或环状脂肪族烃基的碳原子数小于等于10的烷基或碳原子数小于等于6的烷氧基羰基；R10表示环状脂肪族烃基。
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公开(公告)号：CN1871196A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480031538.3
申请日：2004-10-29
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 提供了官能团浓度高、可得到充分的官能团特性的，在宽波长范围具有高透明性的含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法。提供了下式(1)所示的含氟二烯。CF2＝CFCH2CH(C(R1)(R2)(OH))CH2CH＝CH2(1)，式中，R1和R2分别独立地表示氟原子或碳原子数小于等于5的氟烷基。
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公开(公告)号：CN1286867C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN03819683.2
申请日：2003-08-21
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)CFR1＝CR2-Q-CR3＝CHR4-(1)表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。
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公开(公告)号：CN1711504A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200380102724.7
申请日：2003-11-06
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027 , C08F16/02 , C08F16/24 , C08F8/02
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F14/18 , C08F36/16 , G03C1/492 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 提供抗蚀组合物，该组合物易形成抗蚀图案，对F2激基缔合物(excimer)激光等真空紫外线透明性、干蚀刻性能优良，且感光度、析像度、平坦性、耐热性等也良好。该抗蚀组合物的特征在于包括含氟聚合物(A)、受光照射产生酸的产酸化合物(B)以及有机溶剂(C)，该含氟聚合物(A)含有一个被保护基保护的酸性基，该保护基含有环烷基、有一个或多个环烷基的有机基、双环烷基等。
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