公开(公告)号：CN101203546B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200680022194.9

申请日：2006-06-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江里口武 ,  伊藤昌宏 ,  鹤冈薰 ,  石桥雄一郎

IPC: C08G65/40 ,  C07C43/29 ,  C08F212/06 ,  C08F299/02 ,  C08G65/48 ,  C08L71/10

Abstract: 提供了可以形成兼具高透明性、低相对介电常数、高耐热性、低双折射及高挠性的固化物的交联性含氟芳香族预聚物及其用途。交联性含氟芳香族预聚物，使具有聚合性双键(A)及酚性羟基的化合物(Y-1)以及具有聚合性双键(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的任一者或两者与下式(1)[式(1)中，n为0～3的整数；a、b分别独立地表示0或1～3的整数；Rf1及Rf2表示碳数8以下的含氟烷基]所示的含氟芳香族化合物(B)，以及，具有3个以上酚性羟基、且各酚性羟基不存在于同一芳香环的化合物(C)，在脱HF剂存在下进行缩合反应而得，具有聚合性双键(A)及醚键，且数均分子量为1×103～5×105。

公开(公告)号：CN1845947A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200480025131.X

申请日：2004-09-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 横塚俊亮 ,  伊藤昌宏 ,  鹤冈薰

IPC: C08G65/40 ,  C08G65/48 ,  C08L71/10 ,  C08F299/06 ,  C09D171/10 ,  H01L21/312

CPC classification number: C08G65/4025 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3127

Abstract: 提供可以形成兼具低介电常数、高耐热性、低双折射和高可挠性的固化物的交联性含氟芳族预聚物及其用途。由具有交联性官能团(A)和酚羟基的化合物(Y－1)及/或具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳环的化合物(Y－2)、下述式(1)[式中，n表示0～2的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示碳原子数小于等于8的含氟烷基。]所表示的含氟芳族化合物(B)和具有3个或3个以上的酚羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应得到，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105的交联性含氟芳族预聚物。

公开(公告)号：CN103998414B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201280061108.0

申请日：2012-12-13

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤昌宏 ,  鹤冈薰

IPC: C07C69/708 ,  C08F220/30 ,  C09D4/02 ,  C09D157/08 ,  C09K3/18 ,  G02B5/20 ,  G03F7/038

CPC classification number: G02B1/18 ,  C07C59/64 ,  C07C69/708 ,  C08F220/14 ,  C08F220/20 ,  C08F220/40 ,  C08F220/68 ,  C08F222/1006 ,  C08F2220/1825 ,  C08F2220/185 ,  C08F2220/1858 ,  C08F2220/303 ,  C09D133/16 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/027 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/0388 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/786 ,  H01L51/0004 ,  H01L51/0019 ,  H01L51/052 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/31935 ,  C08F220/30 ,  C08F220/18 ,  C08F220/36 ,  C08F212/08

Abstract: 本发明提供一种固化性组合物、以及具有使该固化性组合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法，该固化性组合物能形成绝缘性、拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。本发明使用该固化性组合物来形成固化膜，该固化性组合物包含具有基于下式(m1)表示的拒液性化合物的单元(u1)的拒液性聚合物。[化1]其中，Cf为碳数1～20的氟代烷基或碳原子间具有醚性氧原子的碳数1～20的氟代烷基；R1和R2分别独立地为氢原子、碳数1～6的烷基或苯基；X为氧原子、硫原子、氮原子或NH；n为0～4的整数；m在X为氧原子、硫原子或NH时为1，在X为氮原子时为2；Z为R4R5C＝CR3-CO-；R3、R4和R5分别独立地为氢原子或甲基。

公开(公告)号：CN103946326A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280055867.6

申请日：2012-11-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤昌宏 ,  鹤冈薰 ,  桑名保宏 ,  永井雄介

IPC: C09D171/10 ,  B23K26/00 ,  B23K26/382 ,  H01L21/302 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: C09D167/06 ,  B23K26/352 ,  B23K26/361 ,  C08F257/02 ,  C08G63/00 ,  C08G65/48 ,  C08J3/24 ,  C08J2365/00 ,  C08K5/0025 ,  C08K5/07 ,  C08K5/101 ,  C08K5/3475 ,  C08K5/3492 ,  C08L67/06 ,  C09D151/003 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31127 ,  H01L23/49894 ,  H01L23/5329 ,  H01L29/7869 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明提供可获得介电常数低、吸水性低且可进行激光加工的固化膜的固化性组合物、该固化膜的激光加工方法及多层布线结构体的制造方法。包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)的固化性组合物、对使该组合物固化而得的固化膜照射激光而除去该固化膜的一部分的激光加工方法、包括通过该加工方法在由该固化膜形成的绝缘膜上形成通孔的工序的多层布线结构体的制造方法。

公开(公告)号：CN102947359A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201180031283.0

申请日：2011-03-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤昌宏 ,  阿部岳文 ,  鹤冈薰 ,  江里口武

IPC: C08F299/02 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/05 ,  H01L51/30

CPC classification number: C08L49/00 ,  C08F216/1408 ,  C08F220/30 ,  C08F222/18 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  C08G65/007 ,  C08L27/12 ,  C08L29/10 ,  C08L33/16 ,  C08L35/02 ,  C08L65/00 ,  C09D4/06 ,  C09D171/00 ,  H01L21/02104 ,  H01L51/052 ,  C08F220/22 ,  C08F220/06 ,  C08F220/20 ,  C08F212/14

Abstract: 提供即使不经过高温下的加热步骤也能充分固化，能够获得耐溶剂性优异、低介电常数的固化膜的固化性组合物。一种固化性组合物，含有：具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物（A），数均分子量为140～5000、具有2个以上交联性官能团且不具有氟原子的化合物（B），具有下述单元（c1）和单元（c2）的共聚物（C）以及自由基聚合引发剂（D）。单元（c1）是碳原子间可以具有醚性氧原子、具有碳数20以下的氟烷基且不具有交联性官能团的单元。单元（c2）是具有交联性官能团的单元。

公开(公告)号：CN101405655B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200780009349.X

申请日：2007-03-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江里口武 ,  山本弘贤 ,  鹤冈薰

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/025 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/117 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y-1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一方、以下述式表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。

公开(公告)号：CN102066443A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123597.6

申请日：2009-06-18

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 伊藤昌宏 ,  江里口武 ,  石桥雄一郎 ,  鹤冈薰 ,  阿部岳文

IPC: C08F290/06 ,  C08G65/40

CPC classification number: C08G65/4006 ,  C08F259/08 ,  C08F283/06 ,  C08F283/085 ,  C08F290/062 ,  C08L71/00 ,  C09D4/06 ,  C08F220/26 ,  C08L2666/04

Abstract: 本发明提供可获得介电常数低且成膜时的埋入平坦性良好的固化性组合物。该固化性组合物包含具备交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)和分子量为140～5000、含交联性官能团但不含氟原子的化合物(B)。

公开(公告)号：CN100519624C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200480025131.X

申请日：2004-09-29

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 横塚俊亮 ,  伊藤昌宏 ,  鹤冈薰

IPC: C08G65/40 ,  C08G65/48 ,  C08L71/10 ,  C08F299/06 ,  C09D171/10 ,  H01L21/312

CPC classification number: C08G65/4025 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3127

Abstract: 提供可以形成兼具低介电常数、高耐热性、低双折射和高可挠性的固化物的交联性含氟芳族预聚物及其用途。由具有交联性官能团(A)和酚羟基的化合物(Y-1)及/或具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳环的化合物(Y-2)、下述式(1)[式中，n表示0～2的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示碳原子数小于等于8的含氟烷基。]所表示的含氟芳族化合物(B)和具有3个或3个以上的酚羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应得到，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105的交联性含氟芳族预聚物。

公开(公告)号：CN101405655A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780009349.X

申请日：2007-03-15

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 江里口武 ,  山本弘贤 ,  鹤冈薰

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/025 ,  G03F7/325 ,  G03F7/40 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/117 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供兼具低比介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。所述组合物是包含下述含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂的负型感光性含氟芳香族类树脂组合物。在这里，含氟芳香族预聚物是通过使具有交联性官能团(A)和酚性羟基的化合物(Y－1)及具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳香环的化合物(Y－2)中的至少任一方、以上述式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)以及具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而获得，具有交联性官能团(A)和醚键，数均分子量为1×103～5×105；式中，n表示0～3的整数，a、b分别独立地表示0～3的整数，Rf1和Rf2分别表示可以相同或不同的碳数在8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。