公开(公告)号：CN101765776B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200880100793.7

申请日：2008-06-25

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 风间敦 ,  斋藤正胜 ,  冈田亮二 ,  青野宇纪

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0842 ,  H01L24/45 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明实现一种灵敏度等特性相对于施加在传感器芯片上的干扰力难以变动的加速度传感器。加速度传感器具有经由支承框和挠性梁支承在支承框内的重锤、设置于梁的半导体压阻元件、将它们连接起来的配线，根据压阻元件的电阻变化来检测加速度。在梁的形成有压阻元件的部分以外的部分设有应力缓冲部。应力缓冲部关于梁的长度中心线和宽度中心线对称。即使干扰力沿梁整体延伸的方向施加于传感器元件，也可以由应力缓冲部来吸收干扰力。由于梁整体延伸的方向的应力难以变化，因此梁的易变形度也难以变化，能够降低干扰力的影响造成的灵敏度变化。

公开(公告)号：CN100381825C

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200510131590.2

申请日：2005-09-29

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 池田由夫 ,  细田雅之 ,  坂口勇夫 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84 ,  G01L9/04

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123

Abstract: 公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽部之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。

公开(公告)号：CN1936591A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610154224.3

申请日：2006-09-15

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 高田良晶 ,  落合秀行 ,  西野庆一 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84 ,  B81B7/02

CPC classification number: G01P1/023 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/0023 ,  G01P15/0802 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/49175 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 在具有用于调整板的IC芯片的位移检测器件中，在组装或使用该器件期间，硅破裂碎片可能会从松动切屑上掉落，并影响位移检测器件的性能。通过设置芯片的IC芯片晶片上的研磨迹线与IC芯片的侧脊上的垂直线所成的角度小于45度，更优选为10－45度，可以减少IC芯片的侧脊上的切屑，包括松动切屑。可避免使用在侧脊上具有松动切屑的IC芯片用于调整板，并且可以提供高度可靠的位移检测器件。

公开(公告)号：CN1908676A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200610110069.5

申请日：2006-08-04

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 秦野弘之 ,  高田良晶 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12

Abstract: 一种加速度传感器，实现了高耐冲击性，即使是当过大的加速度或冲击作用于加速度传感器时，加速度传感器元件的重体底面也不会与由陶瓷、玻璃或硅制成的保护外壳的内底板直接碰撞，避免了加速度传感器元件的重体底面的边缘和角的碎裂。该加速度传感器包含加速度传感器元件以及安装该加速度传感器元件的保护外壳，加速度传感器元件在中心具有当施加加速度时像钟摆一样工作的重体。保护外壳的内底板作为调节板工作，以防止重体向下过大摆动。在重体的底面或保护外壳的内底板上提供有金属层或树脂层的冲击缓冲材料。

公开(公告)号：CN1598596A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410079742.4

申请日：2004-09-16

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 秦野弘之 ,  古市真治 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。