公开(公告)号：CN100381825C

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200510131590.2

申请日：2005-09-29

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 池田由夫 ,  细田雅之 ,  坂口勇夫 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84 ,  G01L9/04

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123

Abstract: 公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽部之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。

公开(公告)号：CN1776434A

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：CN200510131590.2

申请日：2005-09-29

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 池田由夫 ,  细田雅之 ,  坂口勇夫 ,  斋藤正胜

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84 ,  G01L9/04

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123

Abstract: 公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽却之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。