防护膜组件、其制造方法及曝光方法

    公开(公告)号:CN106662806B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201580046947.9

    申请日:2015-09-17

    Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备:第1框体,该第1框体配置有防护膜;第2框体,该第2框体具有厚部和第2面,并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围,所述厚部包含第1面,所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面,所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面;贯通孔,该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部;以及过滤器,该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面,并覆盖上述贯通孔。

    液晶密封剂、使用其的液晶显示面板的制造方法及液晶显示面板

    公开(公告)号:CN101501560A

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200780029170.0

    申请日:2007-08-02

    CPC classification number: G02F1/1339 C08G59/4014 C08G59/50 G02F2202/28

    Abstract: 本发明涉及一种能够应用于液晶显示面板的液晶密封剂。本发明的液晶密封剂包含:(1)环氧树脂;胺系热潜在性固化剂即(2)熔点为150℃以下的从二酰肼系、咪唑改性系、胺加合物系和聚氨基脲系热潜在性固化剂组成的组中选出的1种以上的热潜在性固化剂;和(3)熔点为180℃以上的从二酰肼系、咪唑改性系和肼系热潜在性固化剂组成的组中选出的1种以上的热潜在性固化剂。该液晶密封剂的固化速度快,并且耐湿性高。另外,由于在包括室温的低温区域的反应性低,因此能够保持粘度稳定性高,因而可使用时间长。所以,如果使用这样的液晶密封剂制造液晶显示面板,则可以在保持生产性高的同时制造高品质的液晶显示面板。

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