公开(公告)号：CN113543380A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202110298492.7

申请日：2021-03-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 松下谅平

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/20

Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器及其制法。陶瓷加热器(10)具备：在上表面具有晶片载置面(20a)的圆盘状的陶瓷基体(20)；埋设于陶瓷基体(20)中的电阻发热体(22、24)；从所述陶瓷基体(20)的下表面支撑陶瓷基体(20)的筒状轴(40)；设置于电阻发热体(22、24)与晶片载置面(20a)之间，且从陶瓷基体(20)的内部的中心侧的起点位置(S)到达外周侧的末端位置(E)的热电偶通路(27)；以及在陶瓷基体(20)的下表面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)开口，并与热电偶通路(27)连通的热电偶插入孔(26)。

公开(公告)号：CN113207201A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110146229.6

申请日：2021-02-02

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 松下谅平

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/26 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器(10)具备：在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20)；埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22)、(24)；从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40)；以及从陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)的起点(26s)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(26e)的热电偶通路(26)。热电偶通路(26)具有：设置在从起点(26s)到末端位置(26e)之间的中间位置(26m)的台阶部(26b)；从起点(26s)到达末端位置(26e)的长距离部；以及从起点(26s)到达中间位置(26m)的短距离部。

公开(公告)号：CN111788862A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201980015453.2

申请日：2019-12-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 高桥朋大 ,  松下谅平

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

Abstract: 陶瓷加热器(10)具备内置有内周侧和外周侧电阻发热体(22、24)的陶瓷板(20)和在其背面(20b)接合的筒状轴(40)。长孔(26)从陶瓷板(20)的起点(26s)开始延伸至陶瓷板(20)的外周部的终端位置(26e)。长孔(26)的入口部分成为槽(26a)。长槽(26a)以从起点(26s)开始直至扩张区域(20f)的方式设置。端子(22a、22b、24a、24b)设置在轴内区域(20d)中长槽(26a)以外的位置。