公开(公告)号：CN1799292B

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN200480015290.1

申请日：2004-06-01

Applicant: 日本瑞翁株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  森本明大 ,  铃木辉彦 ,  加藤丈佳

IPC: H05K3/10 ,  G09F9/30

CPC classification number: H05K3/107 ,  H05K3/0023 ,  H05K3/143 ,  H05K2201/0108

Abstract: 在透明基体上形成选择性地设置了到达该透明基体的沟的感光性透明树脂膜，在沟内设置实质上具有与感光性透明树脂膜的表面相同的表面的布线部。在将布线部覆盖在沟内之前，通过对感光性透明树脂膜表面或者沟的底面实施处理，可以迅速形成布线部，同时可以容易地控制布线部的厚度。

公开(公告)号：CN101268411B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200580051600.X

申请日：2005-09-16

Applicant: 大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  森本明大 ,  加藤丈佳

IPC: G02F1/13 ,  H01L29/786 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30 ,  C23C8/14 ,  H01L21/31 ,  C23C4/10 ,  H05K3/28 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1292 ,  H01L29/66765

Abstract: 本发明的目的在于发现由于电子装置制造时使用的加热处理装置中的气氛，制造的电子装置叠置材料特性受到坏影响，从而减轻该坏影响。为了实现该目的，利用氧化物钝态膜覆盖加热处理装置的内表面，并且将该内表面的表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra设为1μm以下。在这样的加热处理装置中，减轻在固化热固化性树脂时，热固化性树脂的分解、离解引起的热固化性树脂的劣化。

公开(公告)号：CN101268411A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200580051600.X

申请日：2005-09-16

Applicant: 大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  森本明大 ,  加藤丈佳

IPC: G02F1/13 ,  H01L29/786 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/30 ,  C23C8/14 ,  H01L21/31 ,  C23C4/10 ,  H05K3/28 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1292 ,  H01L29/66765

Abstract: 本发明的目的在于发现由于电子装置制造时使用的加热处理装置中的气氛，制造的电子装置叠置材料特性受到坏影响，从而减轻该坏影响。为了实现该目的，利用氧化物钝态膜覆盖加热处理装置的内表面，并且将该内表面的表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra设为1μm以下。在这样的加热处理装置中，减轻在固化热固化性树脂时，热固化性树脂的分解、离解引起的热固化性树脂的劣化。