公开(公告)号：CN108335962B

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN201810034728.4

申请日：2018-01-15

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 铃木将人 ,  富松聪 ,  佐藤诚

IPC: H01J37/317 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。

公开(公告)号：CN105910855B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201610086197.4

申请日：2016-02-15

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  上本敦 ,  麻畑达也

IPC: G01N1/28

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。

公开(公告)号：CN110476220A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201880021206.9

申请日：2018-03-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 藤井利昭 ,  富松聪 ,  铃木浩之

IPC: H01J37/20

Abstract: 带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；倾斜台(64A)，其具有能够对试样进行保持的第1试样保持部，将第1试样保持部保持为能够绕轴线(S1)进行转动；倾斜台(64B)，其具有能够对试样进行保持的第2试样保持部，将第2试样保持部保持为能够绕与轴线(S1)平行的轴线(S2)进行转动；以及驱动力提供部，其向倾斜台(64A、64B)提供使倾斜台(64A、64B)连动地转动的驱动力。

公开(公告)号：CN105388048B

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201510542307.9

申请日：2015-08-28

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28

Abstract: 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。

公开(公告)号：CN105910855A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610086197.4

申请日：2016-02-15

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  上本敦 ,  麻畑达也

IPC: G01N1/28

CPC classification number: G01N1/28

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。