公开(公告)号：CN101461051B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200780019750.1

申请日：2007-05-01

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任

IPC: H01L21/677

Abstract: 提供一种基板传输设备和使用该设备的基板处理系统，该基板传输设备用于连续地将多个基板装载在处理室内/从处理室卸载多个基板，以减少传输基板所花的时间并提高生产量。基板传输设备安装在传输室内，且在第一和第二处理室与装载锁定室之间传输基板，第一和第二处理室位于传输室的横向侧。该基板传输设备包括：驱动单元，以供给旋转力；主轴，连接至该驱动单元；第一回转板臂，以装载基板至该第一处理室/从该第一处理室卸载基板；和第二回转板臂，以装载基板至该第二处理室/从该第二处理室卸载基板。因为在同时且连续处理多个基板期间，快速地交换处理前的基板和处理后的基板，所以可增加处理速率和总生产量。

公开(公告)号：CN1870851A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200610084863.7

申请日：2006-05-23

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 崔大圭 ,  魏淳任

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/30

Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。

公开(公告)号：CN1812678A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200610002477.9

申请日：2006-01-26

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  崔相敦

IPC: H05B41/14 ,  H01F29/04 ,  H05B41/38 ,  G02F1/13357

CPC classification number: H05B41/2822

Abstract: 本发明的课题是提供一种多灯驱动系统，可以更有效地并列驱动多个放电灯，可以进一步提高多个放电灯的亮度均匀性，并且提供一种多灯驱动系统，可以根据在无源型显示器上显示的图像的明亮度特性，将多个放电灯的亮度调节成使彼此不同。该多灯驱动系统包括：电源变压器，从交流电源供给源被供给交流电源，并产生正电压(V_p)和负电压(V_n)；和电流均衡分配器，被施加了电源变压器的正电压并分割为多个电压，所分割的电压被分别施加到多个放电灯的第一电极，分配电流量以使输入各个放电灯的电流值相互均衡，电源变压器的负电压被共同施加给多个放电灯的第二电极。