公开(公告)号：CN104471685B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201380037623.X

申请日：2013-07-03

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·德什潘德 ,  Z·王 ,  S·C-C·徐 ,  G·S·丹达瓦特 ,  H·C·陈 ,  W-C·屠

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/66

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B49/105

Abstract: 一种化学机械研磨装置包含承载头、原处监控系统与控制器，该承载头包含扣环，该扣环具有塑胶部分，该塑胶部分具备与研磨垫接触的底部表面，该原处监控系统包含传感器，该传感器根据该塑胶部分的厚度产生信号，该控制器经配置以从该原处监控系统接收该信号，并响应于该信号调整至少一研磨参数，以补偿因为该扣环塑胶部分厚度的改变所形成的非均匀性。

公开(公告)号：CN104471685A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201380037623.X

申请日：2013-07-03

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·德什潘德 ,  Z·王 ,  S·C-C·徐 ,  G·S·丹达瓦特 ,  H·C·陈 ,  W-C·屠

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/66

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B49/105

Abstract: 一种化学机械研磨装置包含承载头、原处监控系统与控制器，该承载头包含扣环，该扣环具有塑胶部分，该塑胶部分具备与研磨垫接触的底部表面，该原处监控系统包含传感器，该传感器根据该塑胶部分的厚度产生信号，该控制器经配置以从该原处监控系统接收该信号，并响应于该信号调整至少一研磨参数，以补偿因为该扣环塑胶部分厚度的改变所形成的非均匀性。