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公开(公告)号：CN113939894A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080041992.6
申请日：2020-06-08
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/32 , C23C16/02 , C23C16/44 , C23C16/505
Abstract: 本文描述了具有改性表面材料的RF组件以改进耐化学性并减少处理腔室内的金属污染物。本文还公开了制造和使用所述RF组件的方法。本公开的一些实施例包含具有大于或等于75GPa的杨氏模量的基底材料。本公开的一些实施例具有改性表面材料，所述改性表面材料包含铝、镧和镁中的一种或多种。
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