一种金刚石薄膜深海温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107702821A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201710957111.5

    申请日:2017-10-16

    CPC classification number: G01K13/02

    Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为双螺旋线状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料,同时公开了该温度传感器的制备方法,本发明所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。

    一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法

    公开(公告)号:CN111705304B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202010655206.3

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。

    一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN108169299B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201810029812.7

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器,包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构,所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧,水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧,电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连,另一端与后端测量电路相连;所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极,内部两列探测电极为信号采集电极,外部两列探测电极为信号输入电极,本发明所公开的电导率传感器满足微型化的要求,化学稳定性高,抗生物附着能力强,稳定工作寿命长。

    一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN108169299A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201810029812.7

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器,包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构,所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧,水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧,电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连,另一端与后端测量电路相连;所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极,内部两列探测电极为信号采集电极,外部两列探测电极为信号输入电极,本发明所公开的电导率传感器满足微型化的要求,化学稳定性高,抗生物附着能力强,稳定工作寿命长。

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