纳米结构体的制造方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101074486B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200710092363.2

    申请日:2007-02-28

    Abstract: 提供一种在铬酸等的环境中不使用非优选物质,在短时间内,能够得到具有规律排列的凹坑的纳米结构体的制造方法。该纳米结构体的制造方法包括:通过将具有铝基板和在上述铝基板表面上存在的阳极氧化被膜的铝部件作为阴极实施电解来使上述阳极氧化被膜和上述铝基板剥离,得到由阳极氧化被膜构成的结构体的剥离工序;其中,在上述剥离工序中,按照使电流流过上述阳极氧化被膜的表面的方式实施上述电解。

    阻气膜及阻气膜的制造方法

    公开(公告)号:CN108136728A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680061324.3

    申请日:2016-10-03

    Abstract: 本发明提供一种在高温高湿环境下也具有高阻隔性的阻气膜及其制造方法。阻气膜依次包括膜基材、二氧化硅层及与所述二氧化硅层直接接触的无机层,上述二氧化硅层含有在硅原子和氧原子之间至少含有共价键的二氧化硅高分子及分子量为200以上且沸点为230℃以上的胺。一种阻气膜的制造方法,其包括:将含有硅化合物及分子量为200以上且沸点为230℃以上的胺的涂布液涂布到膜基材上,以形成含有硅化合物的涂层;用真空紫外线照射含有上述硅化合物的涂层,以形成含有在硅原子与氧原子之间至少具有共价键的二氧化硅高分子的二氧化硅层;及通过蒸镀法或溅射法在上述二氧化硅层的表面上形成无机层。

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