公开(公告)号：CN101189554A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680019400.0

申请日：2006-05-31

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 角克人 ,  石井秀一

IPC: G03F7/20 ,  G02B5/18 ,  G02B3/00 ,  H01L21/027

Abstract: 一种图像曝光设备，包括：空间光调制元件(50)，由用于独立地调制照射到其上的光的多个像素部构成；光源(66)，用于将光束B照射到空间光调制元件上；和光学系统(51)，用于聚焦由每个像素部承载的图像；以及微透镜阵列(55)，在所述微透镜阵列(55)中，以阵列形式设置由像素部调制的光束独立地进入的多个微透镜(55a)。微透镜阵列(55)被设置在像素部通过聚焦光学系统(51)聚焦的聚焦位置附近。微透镜阵列(55)的每个微透镜(55a)，在垂直于光轴的平面内的两个方向上具有不同的光焦度，以便修正由于像素部的各向异性的畸变造成的像差。

公开(公告)号：CN100385901C

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200410002577.2

申请日：2004-01-30

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 中谷大辅 ,  藤井武 ,  角克人 ,  尾崎多可雄

IPC: H04N1/19

CPC classification number: H04N1/1008 ,  H04N1/047 ,  H04N1/1911 ,  H04N1/393 ,  H04N2201/04767

Abstract: 课题在于用多个绘图头能消除扫描方向的放大率误差，而且获得还能进行扫描方向的总体放大率变换的绘图头单元、绘图装置及绘图方法。至少沿扫描方向配置多个曝光头(166)，构成曝光头单元(165)。通过对每个曝光头(166)变更像素的更新时序，修正曝光头(166)之间的扫描方向的放大率误差。

公开(公告)号：CN101115625A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200680004065.7

申请日：2006-02-02

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 角克人

IPC: B41J2/51 ,  B41J2/465

CPC classification number: B41J2/465 ,  B41J25/001 ,  G03F7/70291

Abstract: 按照图像图案(80)，调节图像记录单元点(41)之间的阵列间距(ps)、条带倾斜角(θS)，以及沿y方向形成的图像记录点之间的图像记录间距(py)，或者沿与y方向实际为垂直的方向形成的相邻图像记录点沿y方向的图像记录位置之间的相差(ΔΔy)，使锯齿的锯齿间距(pji)或锯齿幅值(aji)为预定值，或更小，以得到良好的图像。

公开(公告)号：CN1716101A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510078585.X

申请日：2005-06-17

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 角克人 ,  植村隆之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

CPC classification number: G03B27/54 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70291

Abstract: 组装到曝光装置(描绘装置)的各曝光头(30)中的矩形二维像素阵列，相对于扫描方向构成给定的设定倾斜角度，相对感光材料(12)的曝光面设置。通过狭缝和光检测器的组合测定构成邻接的两个曝光头间的头间连接区域的曝光面上的光点的位置。根据所测定光点的位置，选择像素阵列上的使用像素，以实现将头间连接区域中曝光冗长和不足抑制至最小限度的，接近理想的N重曝光。从而，可以在用多个描绘头在描绘面上形成所期望的二维图案的描绘装置及描绘方法中，减轻由描绘头间相对位置和相对安装角度的误差，以及图案变形等影响引起的分辨性能和浓度的不均。

公开(公告)号：CN1595286A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN200410076850.6

申请日：2004-09-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 清水敦子 ,  角克人 ,  中谷大辅

IPC: G03B27/22 ,  G03B27/00

CPC classification number: G06K15/1214

Abstract: 一种光量调节方法及装置，由受光部(20)接受具有使感光材料(1)的曝光水平达到预先决定的、所规定的一定曝光水平的光量与波长的关系的光，在输出波长存储部(40)中储存这时的、从受光部(20)输出的输出值与所述光的波长的关系。另外，将从激光照射部(10A、10B)…射出的激光的波长和所述各激光照射部(10A、10B)…之间的对应关系储存在光源波长存储部(45)中。光量调节部(30)，参照所述输出波长存储部(40)以及光源波长存储部(45)，对各激光的光量进行调节，使得由受光部(20)分别接受从各激光照射部(10A、10B)…射出的各激光并使从受光部(20)输出各输出值满足所述输出值与波长的关系。